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桌面式小型磁控濺射儀

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更新時間：2024-04-26 14:46:28瀏覽次數(shù)：78次

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產(chǎn)品簡介

桌面式小型磁控濺射儀，體型小，觸摸屏控制，配有電動擋板，更帶有記憶儲存功能方便操作

詳細(xì)介紹

桌面式小型磁控濺射儀

KT-Z1650PVD真空鍍膜機(jī)已通過分銷商銷往許多大學(xué)和研究中心，并得到了很好的參考和反饋。

儀器描述：該產(chǎn)品為臺式磁控濺射鍍膜機(jī)，能夠在非導(dǎo)電或?qū)щ姴涣嫉臉悠飞贤坎冀穑?span>Au），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au / Pd）的薄膜。在較短時間內(nèi)即可形成具有細(xì)粒度的均勻薄膜，使樣品適用于掃描電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結(jié)構(gòu)緊湊，全自動控制，設(shè)計符合人體工程學(xué)，所得結(jié)果一致，可重復(fù)性高。

桌面式小型磁控濺射儀技術(shù)參數(shù)；

控制方式	7寸人機(jī)界面手動自動模式切換控制
濺射電源	直流濺射電源
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1000W
輸出電壓電流	電壓≤1000V 電流≤1A
真空	機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤5*10^-3Pa
濺射真空	≤30Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
樣品臺	可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺轉(zhuǎn)速	8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離	40-105mm
真空測量	皮拉尼真空計（已安裝測量范圍10E5Pa 1E-1Pa）
預(yù)留真空接口	KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口