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水冷型濺射儀

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更新時(shí)間:2024-04-25 14:53:24瀏覽次數(shù):46次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

水冷型濺射儀,KT-Z1650PVD,桌面式小型濺射儀,內(nèi)配自動(dòng)電動(dòng)擋板,可保護(hù)樣品或清洗靶材。

詳細(xì)介紹

水冷型濺射儀,KT-Z1650PVD,是一種緊湊型全自動(dòng)濺射鍍膜機(jī),使用非常簡(jiǎn)單。由于*的插件概念,該設(shè)備很容易配置濺射或蒸發(fā),只需更換工藝頭。涂層前后可進(jìn)行等離子處理。模塊化設(shè)計(jì)使得避免金屬和碳沉積之間的交叉污染變得容易。

高度調(diào)節(jié)和傾斜。它可以安裝一個(gè)可選的變速旋轉(zhuǎn)階段或旋轉(zhuǎn)行星階段,每個(gè)選擇持有不同的樣本和存根類(lèi)型。在所有樣品階段,膜厚監(jiān)測(cè)都作為標(biāo)準(zhǔn)。.
•高性能濺射、碳涂層和等離子處理
•獲得的碳線(xiàn)軸–最多50個(gè)碳涂層,無(wú)需用戶(hù)干預(yù)
•*的即插即用濺射和碳涂層模塊
•真空性能和快速泵送時(shí)間

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水冷型濺射儀,技術(shù)參數(shù);

控制方式

7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空

機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類(lèi)型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺(tái)

可旋轉(zhuǎn)φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

40-105mm

真空測(cè)量

皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口



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