簡要描述：混合氣體配比氣體混配器流量流量配比可將多種氣體安一定比例均勻混合后通入到管式爐中。各種氣體的流量是通過精密的質(zhì)量流量計(jì)來控制，流量計(jì)和混氣罐都安裝在一個移動柜內(nèi)。此系列設(shè)備可用于搭建CVD系統(tǒng)，也可為樣品退火提供所需的氣氛環(huán)境.

詳細(xì)介紹

簡介

混合氣體配比氣體混配器流量流量配比主要用于氣體流量測試,并按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營造特定要求的氣氛環(huán)境.

該 混合氣體配比氣體混配器流量流量配比可以外接3種氣體,采用質(zhì)子型流量計(jì),氣路管道采用304拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng).氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.

用途

1.半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制

2.各種真空鍍膜設(shè)備

3.特種材料表面處理

4.氣體燃燒控制

5.混和配氣系統(tǒng)

6.泄漏探測系統(tǒng)

7.環(huán)境檢測與分析設(shè)備

8.分析儀器的氣體流量計(jì)量與控制

9.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要?dú)怏w檢測和控制的場所

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號	KT-C3Z
產(chǎn)品類型	智能控制觸摸屏控制
流量量程	2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm, 1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
流量控制方式	觸摸屏設(shè)定流量
時間設(shè)定	0-99999
數(shù)據(jù)導(dǎo)出	有
程序控制	無（可根據(jù)要求寫程序)
壓力顯示	無 (可根據(jù)需求添加)
耐壓	3MPa
密封材料	金屬密封 Metal
輸入輸出信號	(0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,
電源	±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
閥類型	常開或常閉
溫度系數(shù)	Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃
零點(diǎn)飄移指標(biāo)	＜0.6%F.S. per year without autozero
電氣連接	Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
工作壓差范圍	(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）
漏率	1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He）
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	雙卡套1/4”(滿量程≤30slm),雙卡套Φ3 (僅適用于滿量程≤5slm產(chǎn)品),雙卡套Φ6(僅適用于滿量程≤30slm產(chǎn)品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型
表面化學(xué)成分	CrO thickness ＞20 Angstroms
表面粗糙度	20µinch
抗電磁干擾	CE
重量	16KG