簡(jiǎn)要描述：氣液體混合配比器氮?dú)鈽?biāo)定流量計(jì)主要用于氣體液體混合配比,液體加熱產(chǎn)生氣體并用其他氣體做載氣,為等離子沉積cvd沉積或其他特定設(shè)備提供氣氛環(huán)境. 控制方式采用集成化模塊控制功能延伸性強(qiáng) 根據(jù)客戶要求隨意添加

詳細(xì)介紹

用途

氣液體混合配比器氮?dú)鈽?biāo)定流量計(jì)主要用于氣體液體混合配比,液體加熱產(chǎn)生氣體并用其他氣體做載氣,為等離子沉積cvd沉積或其他特定設(shè)備提供氣氛環(huán)境. 控制方式采用集成化模塊控制功能延伸性強(qiáng) 根據(jù)客戶要求隨意添加

該氣氣液體混合配比器氮?dú)鈽?biāo)定流量計(jì)也可以選擇多種液體和氣體混合。詳情請(qǐng)聯(lián)系客服人員溝通

技術(shù)資料

產(chǎn)品型號(hào)

KT-S2YQ

KT-C2YQ

流量計(jì)類型

浮子流量計(jì)+蠕動(dòng)泵

質(zhì)量流量計(jì)+蠕動(dòng)泵

產(chǎn)品類型

經(jīng)濟(jì)型/手動(dòng)控制

高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制觸摸屏控制

可選量程

氣體60-600ml/min

液體

0.1-999ml/min

氣體

0-500ml/min

液體

0.1-999ml/min

產(chǎn)品精度

讀數(shù)X±4％

0.2ml

量程X±1％

0.2ml

液體加熱溫度

室溫-180度

*大功耗

200W

240W

系統(tǒng)壓力

≤0.1MPa

連接管道

φ3-6mm316不銹鋼管道

截止閥類型

球閥

電磁閥

單向閥開(kāi)啟壓力

0.02Mpa

壓力顯示量程

0-0.4Mpa

0-0.2Mpa

控制方式

手動(dòng)調(diào)節(jié)

7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié)

時(shí)間設(shè)定

0-99999

清洗功能

一鍵清洗

程序控制

5段可編程序(時(shí)間-流量隨意設(shè)定值)

壓力顯示

有機(jī)械壓力表

有（出氣壓力檢測(cè)）

氣體緩沖罐

有

流量累計(jì)

有（累計(jì)當(dāng)前運(yùn)行總流量）

可選進(jìn)出氣口接頭形式

3MM 6MM 1/8mm 1/4mm雙卡套接頭

備注：氣體液體量程范圍根據(jù)客戶現(xiàn)場(chǎng)需要選擇設(shè)備閥門(mén)管件均為不銹鋼材質(zhì) 可耐微腐蝕氣體或液體如強(qiáng)腐蝕性氣體液體請(qǐng)與客服溝通解決方案

建議：為了盡量避免輸出氣體冷凝請(qǐng)減少輸出管道長(zhǎng)度，或者在輸出管道餐繞加熱帶

技術(shù)資料

產(chǎn)品型號(hào)	KT-S2YQ		KT-C2YQ
流量計(jì)類型	浮子流量計(jì)+蠕動(dòng)泵		質(zhì)量流量計(jì)+蠕動(dòng)泵
產(chǎn)品類型	經(jīng)濟(jì)型/手動(dòng)控制		高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制觸摸屏控制
可選量程	氣體60-600ml/min	液體 0.1-999ml/min	氣體 0-500ml/min		液體 0.1-999ml/min
產(chǎn)品精度	讀數(shù)X±4％	0.2ml	量程X±1％		0.2ml
液體加熱溫度	室溫-180度		室溫-180度
*大功耗	200W		240W
系統(tǒng)壓力	≤0.1MPa		≤0.1MPa
連接管道	φ3-6mm316不銹鋼管道		φ3-6mm316不銹鋼管道
截止閥類型	球閥		電磁閥
單向閥開(kāi)啟壓力	0.02Mpa		0.02Mpa
壓力顯示量程	0-0.4Mpa		0-0.2Mpa
控制方式	手動(dòng)調(diào)節(jié)		7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié)
時(shí)間設(shè)定			0-99999
清洗功能			一鍵清洗
程序控制	5段可編程序(時(shí)間-流量隨意設(shè)定值)		5段可編程序(時(shí)間-流量隨意設(shè)定值)
壓力顯示	有機(jī)械壓力表		有（出氣壓力檢測(cè)）
氣體緩沖罐	有
流量累計(jì)				有（累計(jì)當(dāng)前運(yùn)行總流量）
可選進(jìn)出氣口接頭形式	3MM 6MM 1/8mm 1/4mm雙卡套接頭			3MM 6MM 1/8mm 1/4mm雙卡套接頭
備注：氣體液體量程范圍根據(jù)客戶現(xiàn)場(chǎng)需要選擇設(shè)備閥門(mén)管件均為不銹鋼材質(zhì) 可耐微腐蝕氣體或液體如強(qiáng)腐蝕性氣體液體請(qǐng)與客服溝通解決方案建議：為了盡量避免輸出氣體冷凝請(qǐng)減少輸出管道長(zhǎng)度，或者在輸出管道餐繞加熱帶