簡要描述：半導(dǎo)體制冷臺一英寸測試臺是鄭州科探儀器設(shè)備有限公司是集開發(fā)、制造、經(jīng)營為一體的材料創(chuàng)新型企業(yè)，如今公司的產(chǎn)品已經(jīng)遍布國內(nèi)大多數(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室及校，科探儀器已經(jīng)成為老師同學(xué)歡迎和信任的品牌之一半導(dǎo)體氣敏材料真空探針臺

詳細(xì)介紹

一、基于真空探針臺的紅外探測器自動(dòng)測試系統(tǒng)的研究：

(1)半導(dǎo)體制冷臺一英寸測試臺硬件測試電路的設(shè)計(jì):該部分主要為芯片的測試提供驅(qū)動(dòng)電壓和時(shí)序激勵(lì),同時(shí)完成像元響應(yīng)電壓信號的采集與處理,同時(shí)在數(shù)據(jù)采集部分設(shè)計(jì)有單端轉(zhuǎn)差分網(wǎng)絡(luò),消除共模噪聲的同時(shí)還可以增強(qiáng)模擬電壓信號的驅(qū)動(dòng)能力。

(2)真空探針臺探針卡的設(shè)計(jì):對于不同陣列的探測器芯片,本文中設(shè)計(jì)有與之相對應(yīng)的測試探針卡,同時(shí)將偏置電壓的產(chǎn)生電路直接集成于測試探針卡上,偏置電壓可通過探針直接偏置到芯片上,避免模擬信號傳輸過程中受到的干擾。

(3)測試系統(tǒng)自動(dòng)控制的實(shí)現(xiàn):本設(shè)計(jì)基于VC++的開發(fā)平臺,通過RS232協(xié)議控制真空探針臺和基于FPGA的測試電路模塊,并使用Matlab完成測試數(shù)據(jù)的處理和分析,終實(shí)現(xiàn)對320×240和384×288系列芯片的自動(dòng)選片測試。該自動(dòng)測試系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了對非制冷紅外探測器芯片晶圓和單片的自動(dòng)測試,通過響應(yīng)率、噪聲等相關(guān)參數(shù)的測試結(jié)果完成對被測芯片整體性能的評估,并將測試結(jié)果以測試報(bào)告和wafermap的形式展示出來。此測試結(jié)果作為封裝之前芯片選片的重要依據(jù),極大的縮小了紅外探測器的測試時(shí)間和封裝成本。

二、發(fā)展背景：

（1）公司以科技創(chuàng)新為主，服務(wù)社會(huì)為宗旨，積極設(shè)計(jì)開發(fā)新型材料制備設(shè)備，奉獻(xiàn)于教育和科學(xué)，經(jīng)過長期的研發(fā)和不斷地技術(shù)積累，擁有熱工，制造，控制相關(guān)，為化學(xué)，物理，材料，電子，高分子工程，新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設(shè)備。

（2）公司通過和院校老師同學(xué)強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，形成了有效的信息，技術(shù)交流平臺，為科探儀器了解市場需求提供了強(qiáng)有力的支持！

（3）目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個(gè)系列幾十款產(chǎn)品，產(chǎn)品囊括實(shí)驗(yàn)電爐、半導(dǎo)體制冷臺一英寸測試臺CVD供氣系統(tǒng)、等離子清洗機(jī)、小型離子濺射儀、小型蒸鍍儀等，主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。

三、應(yīng)用領(lǐng)域：公司與國內(nèi)高校，科研院所有多層次的合作關(guān)系，建有開放實(shí)驗(yàn)室，相關(guān)領(lǐng)域的教授、高級工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念，依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力，科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作，科探儀器時(shí)刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。

溫控器
加熱溫度	35-400℃ 注意：熱臺溫度和樣品溫度存在偏差客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺面測量熱電阻值對應(yīng)分度值做校準(zhǔn)。
溫控誤差	±1℃
熱電偶類型	PT100高精度傳感器
溫控表	宇電PID溫控器
程序控溫	1段（可選30段程序控溫表）
加熱功率	≤300W
加熱電源	AC220v
尺寸	230x230x125MM
重量	6kg
真空探針熱臺
腔體材質(zhì)	304不銹鋼
加工方式	一體式CNC精加工
內(nèi)腔體尺寸	137X57X21mm 容積165ML
加熱臺尺寸	Φ35mm
觀察窗內(nèi)徑	Φ45mm
觀察窗材質(zhì)	高透光石英玻璃
信號輸出頭	SMA母頭配線 SMA轉(zhuǎn)BNC 1.5米
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V
抽氣口	KF16
進(jìn)氣口	6MM卡套
使用正壓	≤O.05MPa
使用負(fù)壓	機(jī)械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa
可擴(kuò)展配件	氣體液體注射口 4芯電信號接頭 8芯電信號接頭 SMA905 光纖接口擴(kuò)展5KV高壓電極升級30段控溫儀表
移動(dòng)探針
探針規(guī)格	探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm
上下移動(dòng)距離	2.5mm
前后移動(dòng)距離	±10mm
左右旋轉(zhuǎn)距離	120°