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激光摻雜設(shè)備

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激光系統(tǒng)用于磷摻雜選擇性擴(kuò)散工藝,可支持離線或在線兩種生產(chǎn)方式

詳細(xì)介紹

激光系統(tǒng)用于磷摻雜選擇性擴(kuò)散工藝,可支持離線或在線兩種生產(chǎn)方式；

設(shè)備空間布局緊湊，設(shè)備占地尺寸小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、調(diào)試方便、標(biāo)準(zhǔn)化模塊設(shè)計(jì)、兼容互換性強(qiáng)；

可提供兩激光、三激光、四激光等多種生產(chǎn)方式，從而實(shí)現(xiàn)低產(chǎn)能至高產(chǎn)能的全面化覆蓋；

采用主機(jī)與接駁臺(tái)兩部分構(gòu)成，可實(shí)現(xiàn)人工手動(dòng)上下料以及AGV自動(dòng)上下料，以滿足客戶不同的上料需求；

可與現(xiàn)有市場(chǎng)上所有品牌的印刷機(jī)直接對(duì)接，兼容性和靈活性高；

該支持AOI檢測(cè)、硅片翻面、方阻檢測(cè)等功能擴(kuò)展；

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