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長春市博盛量子科技產品貿易有限公司
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產品型號:ATLEX-LR品牌名稱:德國ATLLasertechnikATLEX-LR系列適合低負荷使用,專門為激光剝蝕(LaserAblation)而設計;激光為193nm輸出優(yōu)化,同時具有非常快的上升沿和高峰值功率
產品型號:ATLEX-LR
品牌名稱:德國ATL Lasertechnik
ATLEX-LR 系列適合低負荷使用,專門為激光剝蝕(Laser Ablation) 而設計;激光為193nm 輸出優(yōu)化,同時具有非??斓纳仙睾透叻逯倒β?。
產品特點:
· 軟電暈預電離
· 全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器
· 激光頭容積 < 3L
· TMC(全金屬陶瓷)管路
· 集成真空泵和鹵素過濾器
· 全部風冷,主動熱管理
· RS-485、RS232、USB及光纖接口
· 可沖洗光具座
· 能量穩(wěn)定模式
· 符合歐洲CE標準
· 符合RoHS規(guī)范
產品參數:
ATLEX-LR產品參數 | ||
氣體介質 | ArF | 單位 |
波長 | 193 | nm |
脈沖能量1 | 12 | mJ |
能量穩(wěn)定選項輸出 | 10 | mJ |
脈沖寬度2 | 5 | ns |
光束尺寸2(V x H) | 4 x 6 | mm |
光束發(fā)散角2(V x H) | 1 x 2 | mrad |
能量穩(wěn)定性(標準偏差) | < 2 | % |
尺寸(長x寬x高) | 540 x 470 x 370 | mm |
重量 | 60 | kg |
冷卻 | Air | |
電力需求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | |
所有規(guī)格均為典型數據,如有因產品改進而更改的,恕不另行通知。
1 在重復頻率情況下測得: 應用能量穩(wěn)定模式將會有10%的輸出能量損失。
2 典型值,FWHM
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