產(chǎn)品型號(hào)：ATLEX-500-L品牌名稱(chēng)：德國(guó)ATLLasertechnik產(chǎn)品特點(diǎn)：·TMC（全金屬陶瓷）管路·電暈預(yù)電離·固態(tài)開(kāi)關(guān)·延長(zhǎng)動(dòng)態(tài)和靜態(tài)氣體壽命（數(shù)月）·激光頭容積6L·全部風(fēng)冷·RS-485、RS232、USB及光纖接口·可沖洗光具座·集成4閥系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品型號(hào)：ATLEX-500-L

品牌名稱(chēng)：德國(guó)ATL Lasertechnik

產(chǎn)品特點(diǎn)：

· TMC（全金屬陶瓷）管路

· 電暈預(yù)電離

· 固態(tài)開(kāi)關(guān)

· 延長(zhǎng)動(dòng)態(tài)和靜態(tài)氣體壽命（數(shù)月）

· 激光頭容積6 L

· 全部風(fēng)冷

· RS-485、RS232、USB及光纖接口

· 可沖洗光具座

· 集成4閥系統(tǒng)，便于氣體處理

· 能量穩(wěn)定模式

· 符合歐洲CE標(biāo)準(zhǔn)，符合RoHS規(guī)范

· 模塊化設(shè)計(jì)/服務(wù)友好

產(chǎn)品參數(shù)：

ATLEX-500-L產(chǎn)品參數(shù)
氣體介質(zhì)	ArF	KrF	單位
波長(zhǎng)	193	248	nm
高壓開(kāi)關(guān)技術(shù)	固態(tài)開(kāi)關(guān)
脈沖能量¹	10	15	mJ
平均功率	4.0	6.5	W
重復(fù)頻率	500		Hz
脈沖寬度²	5 – 8		ns
光束尺寸²(V x H)	6 x 4		mm
光束發(fā)散角²(V x H)	2 x 1		mrad
能量穩(wěn)定性（標(biāo)準(zhǔn)偏差）	< 2		%
尺寸（長(zhǎng)x寬x高）	600 x 415 x 567		mm
重量	70		kg
冷卻	Cooling Air / Optional Liquid
電力需求	230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz