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行業(yè)產(chǎn)品

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長(zhǎng)沙沛鈺進(jìn)出口貿(mào)易有限公司


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帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動(dòng)PECVD

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

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更新時(shí)間:2024-09-28 10:55:48瀏覽次數(shù):79次

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經(jīng)營(yíng)模式:經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品:488條

所在地區(qū):湖南長(zhǎng)沙市

聯(lián)系人:許進(jìn)朝 (銷售經(jīng)理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

型號(hào):OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL產(chǎn)品概述:OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款雙溫區(qū)的PECVD管式爐系統(tǒng),組成部分為500W的射頻發(fā)生器、滑動(dòng)速度可控的雙溫區(qū)滑軌爐,預(yù)熱爐(作用為使固體原料蒸發(fā))和德國(guó)進(jìn)口的無(wú)油泵

詳細(xì)介紹

型號(hào):OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL

產(chǎn)品概述:OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款雙溫區(qū)的PECVD管式爐系統(tǒng),組成部分為500W的射頻發(fā)生器、滑動(dòng)速度可控的雙溫區(qū)滑軌爐,預(yù)熱爐(作用為使固體原料蒸發(fā))和德國(guó)進(jìn)口的無(wú)油泵。此款PECVD對(duì)于生長(zhǎng)納米線或用CVD方法來(lái)制作各種薄膜是一款新的探索工具。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動(dòng)PECVD—OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL (2019.12.11—科晶實(shí)驗(yàn)室審核)

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示  2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備  3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong>  4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 與普通CVD相比較,其沉積溫度大大降低,減少了高溫對(duì)薄膜的損壞;

? 可通過(guò)爐體滑動(dòng)來(lái)達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果;

? 爐體有兩個(gè)溫區(qū),可在爐體內(nèi)形成溫度梯度,兩個(gè)溫區(qū)溫差為400℃;

? 帶有預(yù)熱爐,氣體可通過(guò)此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。

加熱爐參數(shù)

? 連續(xù)工作溫度為1100℃

? 兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;兩個(gè)溫區(qū)溫差為:400℃

? 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備加熱效率及反射率,同時(shí)延長(zhǎng)儀器的使用壽命。(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

? 工作電源:208-240V AC單相,功率:4KW


加熱爐圖1.jpg    溫控儀表.JPG

預(yù)熱爐參數(shù)

? 溫度:1100℃;

? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;

? 氣體通過(guò)等離子射頻電源前,先通過(guò)預(yù)熱爐,也可將固體和液體原料放在預(yù)熱爐中,氣化后與氣體原料相混合


預(yù)熱爐圖1.jpg

電動(dòng)滑軌

? 可將電動(dòng)滑軌安裝在爐體下端,將爐體滑動(dòng),以達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果

? 滑動(dòng)速度:0-70 mm/s(可調(diào))

升降溫速率

? RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi),將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入電腦中(儀器中不包含,客戶需額外出費(fèi)用在本公司購(gòu)買)

? 為獲得的升溫速率,可將爐體升溫到設(shè)定溫度,然后將爐體滑到樣品放置區(qū)


加熱速率

冷卻速率

15°C/sec (RT - 150°C)

15°C/sec (1000 - 950°C)

10°C/sec (150°C - 250°C)

10°C/sec (950°C - 900°C)

7°C/sec (250°C - 350°C)

7°C/sec (900°C - 850°C)

4°C/sec (350°C - 500°C)

4°C/sec (850°C - 750°C)

3°C/sec (350°C - 550°C)

2°C/sec (750°C - 600°C)

2°C/sec (550°C - 650°C)

1.5°C/sec (600°C - 500°C)

1°C/sec (650°C - 800°C)

1°C/sec (500°C - 400°C)

0.5°C/sec (800°C - 1000°C)

0.5°C/sec (400°C - 300°C)

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。


 

300W射頻電源

500W射頻電源

100W射頻電源

輸出功率

0-300W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-500W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-100W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

射頻頻率

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

匹配

自動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

手動(dòng)匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷卻方式

風(fēng)冷

風(fēng)冷

風(fēng)冷

輸入電壓

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

圖片

300W射頻電源.jpg

500W射頻電源.jpg

100W射頻電源.png



真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵;

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

? 真空度可達(dá)10-2Torr。


真空系統(tǒng).png

供氣系統(tǒng)

? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);

? 流量范圍:

一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm

? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;

? 氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;

? PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。


四通道質(zhì)子圖1.jpg  四路質(zhì)子圖2.png

產(chǎn)品尺寸和重量

? 爐體尺寸:550mm L ′380mm W′520mm H

? 滑軌長(zhǎng)度:1750 mm

? 凈重:220 Lbs

認(rèn)證

? CE認(rèn)證

? 所有電器元件通過(guò) UL / MET / CSA認(rèn)證

? 如您另外付費(fèi),我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證


認(rèn)證.png

承諾

? 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)


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