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帶有預熱系統(tǒng)的滑動PECVD

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更新時間：2024-09-28 10:55:48瀏覽次數(shù)：82次

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長沙沛鈺進出口貿(mào)易有限公司

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商鋪產(chǎn)品：489條

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聯(lián)系人：許進朝（銷售經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

型號：OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL產(chǎn)品概述：OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款雙溫區(qū)的PECVD管式爐系統(tǒng)，組成部分為500W的射頻發(fā)生器、滑動速度可控的雙溫區(qū)滑軌爐，預熱爐（作用為使固體原料蒸發(fā)）和德國進口的無油泵

詳細介紹

型號：OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL

產(chǎn)品概述：OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款雙溫區(qū)的PECVD管式爐系統(tǒng)，組成部分為500W的射頻發(fā)生器、滑動速度可控的雙溫區(qū)滑軌爐，預熱爐（作用為使固體原料蒸發(fā)）和德國進口的無油泵。此款PECVD對于生長納米線或用CVD方法來制作各種薄膜是一款新的探索工具。

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技術(shù)參數(shù)實驗案例警示/應用提示配件詳情

設備名稱

帶有預熱系統(tǒng)的滑動PECVD—OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL （2019.12.11—科晶實驗室審核）

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點

? 與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫對薄膜的損壞；

? 可通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果；

? 爐體有兩個溫區(qū)，可在爐體內(nèi)形成溫度梯度，兩個溫區(qū)溫差為400℃；

? 帶有預熱爐，氣體可通過此爐預熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。

加熱爐參數(shù)

? 連續(xù)工作溫度為1100℃

? 兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；兩個溫區(qū)溫差為：400℃

? 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設備加熱效率及反射率，同時延長儀器的使用壽命。（點擊圖片查看詳細資料）

? 工作電源：208-240V AC單相，功率：4KW

加熱爐圖1.jpg 溫控儀表.JPG

預熱爐參數(shù)

? 溫度：1100℃；

? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

? 氣體通過等離子射頻電源前，先通過預熱爐，也可將固體和液體原料放在預熱爐中，氣化后與氣體原料相混合

預熱爐圖1.jpg

電動滑軌

? 可將電動滑軌安裝在爐體下端，將爐體滑動，以達到快速升溫和快速降溫的效果

? 滑動速度：0-70 mm/s（可調(diào)）

升降溫速率

? RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi)，將控溫程序和溫度曲線導入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費用在本公司購買）

? 為獲得的升溫速率，可將爐體升溫到設定溫度，然后將爐體滑到樣品放置區(qū)

加熱速率	冷卻速率
15°C/sec (RT - 150°C)	15°C/sec (1000 - 950°C)
10°C/sec (150°C - 250°C)	10°C/sec (950°C - 900°C)
7°C/sec (250°C - 350°C)	7°C/sec (900°C - 850°C)
4°C/sec (350°C - 500°C)	4°C/sec (850°C - 750°C)
3°C/sec (350°C - 550°C)	2°C/sec (750°C - 600°C)
2°C/sec (550°C - 650°C)	1.5°C/sec (600°C - 500°C)
1°C/sec (650°C - 800°C)	1°C/sec (500°C - 400°C)
0.5°C/sec (800°C - 1000°C)	0.5°C/sec (400°C - 300°C)

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-500W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-100W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）
匹配	自動匹配	自動匹配	手動匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風冷	風冷	風冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
圖片