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長沙沛鈺進出口貿(mào)易有限公司


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滑動式雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式:許進朝查看聯(lián)系方式

更新時間:2024-09-28 10:54:24瀏覽次數(shù):60次

聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線

經(jīng)營模式:經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品:488條

所在地區(qū):湖南長沙市

聯(lián)系人:許進朝 (銷售經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

型號:OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL產(chǎn)品概述:OTF-1200X-II-4CV-PE-SL是一款滑動式雙溫區(qū)PECVD管式爐系統(tǒng)

詳細介紹

型號:OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL

產(chǎn)品概述:OTF-1200X-II-4CV-PE-SL是一款滑動式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源,80mm OD1600mm L的滑動式雙溫區(qū)管式爐,4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機械泵機組,可用于生長納米或石墨烯材料。


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技術(shù)參數(shù)實驗案例警示/應用提示配件詳情
設備名稱

滑動式雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)——OTF-1200X-II-4CV-PE-SL (2019.12.23—科晶實驗室審核)

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點

? 射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度;

? 滑軌式可快速加熱和快速冷卻;

? 兩個加熱區(qū),溫度梯度可達 200oC;

? 可在溫度范圍較大的條件下制備材料,如碳、ZnO納米管或納米線及單層石墨烯等。

加熱爐參數(shù)

? 溫度:1200oC(<30min),連續(xù)工作溫度:1100℃;

? 兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng);

? 輸入功率:208-240V,單相,功率:2.5KW;

? 高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗;

? 爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管。


設備主圖.jpg 圖片2.jpg

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實驗條件的需求。



300W射頻電源

500W射頻電源

100W射頻電源

輸出功率

0-300W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-500W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-100W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

射頻頻率

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

匹配

自動匹配

自動匹配

手動匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷卻方式

風冷

風冷

風冷

輸入電壓

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

圖片

圖片2.jpg

圖片3.jpg

圖片4.jpg
真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵;

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

? 真空度可達10-2Torr。

真空系統(tǒng).png

供氣系統(tǒng)

? 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);

? 流量范圍:

一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm

? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;

? 氣體進出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出;

? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。


圖片3.jpg 圖片4.jpg

產(chǎn)品尺寸和重量

? 設備總體尺寸:2200mm L′800mm W′1500mm H

? 凈重:610kg


產(chǎn)品尺寸.JPG

認證

? CE認證

? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證

? 如您另外付費,我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證


圖片5.jpg



承諾

? 一年質(zhì)保期,終身維護(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)

? 因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。



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