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行業(yè)產(chǎn)品

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長沙沛鈺進(jìn)出口貿(mào)易有限公司


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滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式：許進(jìn)朝查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-09-28 10:54:24瀏覽次數(shù)：61次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：488條

所在地區(qū)：湖南長沙市

聯(lián)系人：許進(jìn)朝 （銷售經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

型號(hào)：OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL產(chǎn)品概述：OTF-1200X-II-4CV-PE-SL是一款滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD管式爐系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

型號(hào)：OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL

產(chǎn)品概述：OTF-1200X-II-4CV-PE-SL是一款滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源，80mm OD1600mm L的滑動(dòng)式雙溫區(qū)管式爐，4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機(jī)械泵機(jī)組，可用于生長納米或石墨烯材料。


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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)——OTF-1200X-II-4CV-PE-SL （2019.12.23—科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；

? 滑軌式可快速加熱和快速冷卻；

? 兩個(gè)加熱區(qū)，溫度梯度可達(dá) 200oC；

? 可在溫度范圍較大的條件下制備材料，如碳、ZnO納米管或納米線及單層石墨烯等。

加熱爐參數(shù)

? 溫度：1200oC（<30min），連續(xù)工作溫度：1100℃；

? 兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)；

? 輸入功率：208-240V，單相，功率：2.5KW；

? 高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗；

? 爐體開啟式設(shè)計(jì)，以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫，方便更換爐管。


設(shè)備主圖.jpg 圖片2.jpg

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。



300W射頻電源

500W射頻電源

100W射頻電源

輸出功率

0-300W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

0-500W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

0-100W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

射頻頻率

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

匹配

自動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

手動(dòng)匹配

噪音

＜50dB

＜50dB

＜50dB

冷卻方式

風(fēng)冷

風(fēng)冷

風(fēng)冷

輸入電壓

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

圖片

圖片2.jpg

圖片3.jpg

圖片4.jpg
真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵；

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

? 真空度可達(dá)10-2Torr。

真空系統(tǒng).png

供氣系統(tǒng)

? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）；

? 流量范圍:

一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm

? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

? 氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管；

? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出；

? PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。


圖片3.jpg 圖片4.jpg

產(chǎn)品尺寸和重量

? 設(shè)備總體尺寸：2200mm L′800mm W′1500mm H

? 凈重：610kg


產(chǎn)品尺寸.JPG

認(rèn)證

? CE認(rèn)證

? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證

? 如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證


圖片5.jpg



承諾

? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）

? 因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。



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