微電子及半導體封裝自動涂膜機簡單介紹：
狹縫式涂布試驗機由山東安尼麥特儀器有限公司精心研制高精度精密型涂布試驗機，本機主要應用于蓋板玻璃的各種涂膠作業(yè)而開發(fā)設計的專用裝置，同時也可以用于其他類似材料的涂布。本涂布試驗機，底板采用微孔陶瓷吸附平臺，同時采用非接觸式狹縫式涂布頭，通過進料壓力，狹縫寬度調(diào)節(jié)，以及狹縫頭與底板間隙三個因數(shù)控制濕膜厚度，同時軟件系統(tǒng)增加了高度調(diào)節(jié)與反饋系統(tǒng)，大大提高了涂布精度與均勻性。
應用場景：針對微米級特別是納米及亞微米級功能性涂層的涂布試驗、墨水調(diào)試、工藝研究、小規(guī)模制樣研發(fā)等。
涉及行業(yè)：包括水凝膠、液態(tài)金屬、智能包裝材料、光電材料、光刻膠、功能涂層、微電子及半導體封裝等大面積涂布制備，以及氫燃料電池膜電極、電解水制氫膜電極、鋰電池、各種活性催化劑、異質(zhì)結(jié)太陽能電池、薄膜太陽能電池、鈣鈦礦太陽能電池、有機太陽能電池、OLED柔性穿戴器件、有機場效應晶體管,導電聚合物,納米線和納米管,二維材料,有機發(fā)光二極管和鈣鈦礦發(fā)光二極管、鈣鈦礦光伏電池、鋰離子電池的電解質(zhì)和電極、染色敏感性太陽能電池、電子皮膚等器件的制備。
微電子及半導體封裝自動涂膜機主要技數(shù)參數(shù)
1.工藝流程： 手動放料--刮涂--手動取料，依次循環(huán)
2.設備結(jié)構：封閉式
3.陶瓷吸附規(guī)格： 工作區(qū)域 ① 450mm(W)×550mm(L)。 ② 155.21mm(W)×136.2mm(L)。 可以獨立工作（其他工作區(qū)域可選）
4.適用玻璃厚度范圍：0.03-1.5mm
5.涂膠工作臺高度：900±20mm可調(diào)整
6.適用涂布液：各種液態(tài)光學膠或感光膠
7.膠體粘度：5cps～6000cps （23±2℃時）。 （不同粘度范圍需以不同厚度Shim
片對應）。
8.涂布干膜厚度范圍：2～800um。 （根據(jù)涂布液固含量不同厚度范圍有波動）
9.有效涂布范圍內(nèi)涂布均勻性：3%-5%（除去涂布范圍周邊5-10mm之內(nèi)部）。
10. 涂布寬度：依玻璃基板尺寸及底部貼PET膜的預留無效邊而定，用不同開口的Shim片對應。
11. 涂布有效范圍：玻璃基板整面有效，無效區(qū)為基板底部PET 膜四周多出的部分。
12. 機內(nèi)凈化：機臺頂部FFU上吹風，機臺底部預留抽風口。
13. FFU安裝位置：設備頂部
14.基板厚度確認：測厚儀測量值（基板為含PET底膜厚度的整體厚度）。
15.涂布方式：龍門式狹縫刮膠涂布方式。
16. 刮膠驅(qū)動：直線電機/伺服電機可選 高度調(diào)整電機為步進電機
17.升降行程：150mm
18. 涂膠厚度檢測：Keyence感應器非接觸檢測。（選配）
19. 涂布GAP控制精度：進料段Keyence測厚儀控制涂膠Gap，檢測精度±5微米
20.平臺平面度：10-15um。
21.平臺材質(zhì)：多孔陶瓷真空平臺。
22.平臺有效尺寸：450mm×550mm。
23.真空區(qū)域：2個 可獨立工作
24.吸附平臺框架材質(zhì)：不銹鋼
25.刮刀數(shù)量：2組(1組大尺寸500X120X100mm、1組小尺寸205x120x100mm）。
26.狹縫刮刀尺寸：大尺寸500X120X100mm、小尺寸205x120x100mm）。
27.刮刀材質(zhì)：630不銹鋼
28.墊片數(shù)量：每個狹縫涂布頭標配墊片2張（墊片厚度客戶自己選擇）
29.注膠管路：兩套管路系統(tǒng)，對應一組泵（一套管路打樣測試使用，另外一套管路量產(chǎn)使用）。
30.進膠方式：伺服計量泵 齒輪泵適5-9000cps粘度膠體）。/注射泵式上料可選
31.計量泵流量范圍：1.8-21.6ml/min
32.計量泵電機參數(shù)： 臺達伺服電機 /0.4KW/220V/3000rpm
33.計量泵結(jié)構： 電機/減速機/齒輪泵/控制系統(tǒng)
34.計量泵控制方式：7寸觸摸屏
35.刮膠預涂機構：涂布前手動無塵清潔刀口。
36.刮刀預干浸槽： 可移動接料盒。
37.真空消泡功能 ：有
38.真空消泡罐參數(shù)：2L 不銹鋼桶體，透明觀察蓋。
39.進膠量控制：HMI上設定伺服泵參數(shù)控制進膠量。
40.下機架材料：鋁合金框架或SS41#表面靜電烤粉。
41.下封板材料：不銹鋼亮面板。
42.上機架材料：SUS304型材或鋁合金型材機架。
43.上機架封板：透明PC門葉封板。
44. 面板控制：PLC＋HMI（觸摸屏人機介面）控制
45.平臺吸附真空泵：采用水循環(huán)真空泵
46.涂布速度：1-200mm/min
47.電源電壓：220V 50Hz 800W
設備主要工作系統(tǒng)及參數(shù)：
1、機械結(jié)構 | 機架 | 鋼件防銹處理/不銹鋼/鋁合金材料 |
零件 | 軸承SKF/NSK |
絲桿，導軌 | 絲桿±0.05 mm |
2、電控系統(tǒng) | 控制系統(tǒng) | PLC |
觸摸屏 | 七寸 |
電網(wǎng)穩(wěn)定 | 電源濾波器 |
電源保護 | 漏電斷路器 |
交流接觸器 | 施耐德 |
步進電機 | 臺達 |
接近開關 | 歐姆龍 |
直流電源供應 | 明緯 |
Sensor | 歐姆龍 |
3、氣動系統(tǒng) | 氣缸 | SMC 或同規(guī)格 |
壓力控制 | 亞德客 |
壓力調(diào)節(jié) | 亞德客 |
壓力指示 | 亞德客 |
電磁閥 | 亞德客 |
油霧分離器 | 亞德客 |
4、真空系統(tǒng) | 真空泵 | 水循環(huán)式 |
5、計量泵系統(tǒng) | 齒輪泵 | / |
設備主要參數(shù)：
1、生產(chǎn)參數(shù) | 玻璃尺寸 | 450mm*550mm |
適合玻璃厚度 | 30um-1.1mm厚度 |
涂布整面均勻性 | 3%-5% |
2、機床規(guī)格參數(shù) | 外形尺寸 | （L*W*H） (L)1500mm×(W)900mm×(H)2000mm可自己設定 |
工作臺面高度 | 700-800mm |
重量 | 400Kg |
設計總功率 | 900W |
3、機臺周邊配套 | 電源要求 | 機器電源 AC220V±10%、50Hz、5KW |
環(huán)境要求 | 溫 度 22 ± 2 ℃ 恒 溫 無 塵 車 間 ; 相 對 濕 度 ： 40~85%RH |
無塵車間潔凈度等級 | 百級或以上 |
壓縮空氣 | 壓力：0.5~0.8Mpa， 干燥氣源 |
4、其它 | 文件資料 | 設備規(guī)格書/程序 | 各1份 |
| 整機質(zhì)保 | 12個月 |
