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廣東匯成真空科技股份有限公司


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大型電子束蒸發(fā)光學(xué)鍍膜機

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更新時間:2023-03-30 07:18:46瀏覽次數(shù):725次

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產(chǎn)品簡介

LARGEELECTRONBEAMOPTICALCOATINGEQUIPMENT大型電子束蒸發(fā)光學(xué)鍍膜機配備電子槍、穴型、腰型或環(huán)形坩堝,阻抗式蒸發(fā)源;配置光學(xué)膜厚控制儀或石英晶體膜厚控制儀,可實現(xiàn)成膜速度和鍍膜過程的自動控制;可選射頻RF/考夫曼型/霍爾型離子源

詳細介紹

LARGE ELECTRON BEAM OPTICAL COATING EQUIPMENT 大型電子束蒸發(fā)光學(xué)鍍膜機

配備電子槍、穴型、腰型或環(huán)形坩堝,阻抗式蒸發(fā)源;配置光學(xué)膜厚控制儀或石英晶體膜厚控制儀,可實現(xiàn)成膜速度和鍍膜過程的自動控制;可選射頻RF/考夫曼型/霍爾型離子源。

該系列的開發(fā)是為了滿足面向大規(guī)模生產(chǎn)的市場需求,設(shè)備經(jīng)過生產(chǎn)驗證,高生產(chǎn)率,的擁有成本大批量光學(xué)元件成本優(yōu)化生產(chǎn)。可制備AR、UV/IR截止濾光片、AF、硬質(zhì)膜、裝飾膜、ITO膜 、帶通濾光片、HR膜等。

AR 膜(基材玻璃透過率>91.5%):
■ 420-680nm波段,單面平均透過率>95%,反射率小于0.5(平均值)% ;
■ 雙面平均透過率>98%,反射率小于0.5(平均值)%;

AS/AF膜測試標(biāo)準:
■ 初始接觸角范圍為 115±5°;
■ 鋼絲絨耐摩擦測試標(biāo)準:用 0000#鋼絲絨,面積為 10*10mm,行程 40 次/分,負載1Kg,5000 次往返摩擦后,接觸角大于 100°;
■ 橡皮擦測試標(biāo)準: 直徑 6mm 橡皮擦,行程 25 次/分,負載1Kg, 2500 次往返摩擦后,接觸角大于 100°;
備注:測試樣片玻璃需為經(jīng)過精密拋光過的觸摸屏蓋板專用玻璃,表面光潔。


優(yōu)勢:

?蒸鍍AR / AF涂層
?生產(chǎn)能力更強
?生產(chǎn)成本更低
?全自動化功能以及完整的數(shù)據(jù)記錄功能
?光學(xué)監(jiān)控提高過程的可重復(fù)性

Product Advantage.

產(chǎn)品特點
HCEE系列大型電子束蒸發(fā)鍍膜機包括以下關(guān)鍵功能:
  • 高產(chǎn)量

    滿足規(guī)模生產(chǎn)的市場需求

  • 客制化

    滿足客戶需求的多種元件組合

  • 簡單

    易于操作和維護

  • 通用

    高性能、高通用性

  • 自動化

    自動蒸鍍控制系統(tǒng)實現(xiàn)全自動蒸鍍過程

  • 遠程訪問

    提供工廠遠程診斷

  • HCEE-2700
  • HCEE-2350
規(guī)格
型號 HCEE-2700
腔體尺寸 Φ2700 x H1850
結(jié)構(gòu) 立式前開門,SUS304不銹鋼
性能
轉(zhuǎn)速 10~30RPM(可變)
抽速 大氣壓至2.0×10-3Pa≤30min
極限真空度 1.0×10-4Pa
膜料 TiO2,Ti3O5,H4,ZrO2,ZnS,Al2O3,MgF2,SiO2,Au,Ag,Cu,Al,Ti,In,Sn...
主要配置
夾具系統(tǒng) 中心上旋轉(zhuǎn)傘架,單體或分體
加熱系統(tǒng) 鹵素?zé)?/ 鎧裝加熱器,250℃
排氣系統(tǒng) 低真空泵組 + 高真空泵組 + Polycold
真空控制系統(tǒng) 真空控制器、潘寧及皮拉尼真空計
鍍膜系統(tǒng) 電子槍,穴型、腰型或環(huán)形坩堝,阻抗式蒸發(fā)源,射頻/考夫曼型/霍爾型離子源
充氣系統(tǒng) MFC或APC自動壓強控制儀
膜厚控制儀 晶控或光控
控制系統(tǒng) PC+PLC
應(yīng)用
光學(xué)薄膜應(yīng)用 AR、AS/AF、硬質(zhì)膜、裝飾膜、ITO膜 、HR膜等
適用波長 380nm~780nm
注:可客制化(數(shù)據(jù)僅供參考)

Application cases.

應(yīng)用案例
規(guī)格
型號 HCEE-2350
腔體尺寸 Φ2350 x H1510
結(jié)構(gòu) 立式前開門,SUS304不銹鋼
性能
轉(zhuǎn)速 10~30RPM(可變)
抽速 大氣壓至2.0×10-3Pa≤30min
極限真空度 1.0×10-4Pa
膜料 TiO2,Ti3O5,H4,ZrO2,ZnS,Al2O3,MgF2,SiO2,Au,Ag,Cu,Al,Ti,In,Sn...
主要配置
夾具系統(tǒng) 中心上旋轉(zhuǎn)傘架,單體或分體
加熱系統(tǒng) 鹵素?zé)?/ 鎧裝加熱器,250℃
排氣系統(tǒng) 低真空泵組 + 高真空泵組 + Polycold
真空控制系統(tǒng) 真空控制器、潘寧及皮拉尼真空計
鍍膜系統(tǒng) 電子槍,穴型、腰型或環(huán)形坩堝,阻抗式蒸發(fā)源,射頻/考夫曼型/霍爾型離子源
充氣系統(tǒng) MFC或APC自動壓強控制儀
膜厚控制儀 晶控或光控
控制系統(tǒng) PC+PLC
應(yīng)用
光學(xué)薄膜應(yīng)用 AR、AS/AF、硬質(zhì)膜、裝飾膜、ITO膜 、HR膜等
適用波長 380nm~780nm
注:可客制化(數(shù)據(jù)僅供參考)

Application cases.

應(yīng)用案例

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