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行業(yè)產(chǎn)品

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可林艾爾精密空調(diào)系統(tǒng)(蘇州)股份有限公司


CleanAir超高精恒溫恒濕空調(diào)

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產(chǎn)品型號

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更新時間:2023-06-01 15:04:19瀏覽次數(shù):239次

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產(chǎn)品簡介

可林艾爾PerfectAirTM系列超高精恒溫恒濕空調(diào)溫度控制精度:±0.1℃濕度控制精度:±1.5%應用行業(yè):1.超精密加工:可精密控制納米~亞微米級加工設備周圍溫度的穩(wěn)定狀態(tài)

詳細介紹

可林艾爾PerfectAirTM系列超高精恒溫恒濕空調(diào)

溫度控制精度:±0.1℃

濕度控制精度:±1.5%

應用行業(yè):1.超精密加工:

可精密控制納米~亞微米級加工設備周圍溫度的穩(wěn)定狀態(tài)。防止設備本身與加工品因溫度變化發(fā)生伸縮造成的加工精密誤差。

如:超精密非球面加工機、超精密單點精鋼石車床等。

2.精密測量·檢查 :通過保證被測量物與精密測量儀器周圍溫度的穩(wěn)定性,到達提升測量精度的目的。

如:超精密三坐標測量儀等。

3. 曝光 保持電子束曝光設備內(nèi)部溫度均勻,使執(zhí)行光源與目標物冷卻。防止光線的折射率發(fā)生改變,達到曝光品質優(yōu)良。

4.涂布 保持電子束曝光設備內(nèi)部溫度均勻,使執(zhí)行光源與目標物冷卻。防止光線的折射率發(fā)生改變,達到曝光品質優(yōu)良。

5.電子束曝光 控制溫濕度保持穩(wěn)定,防止因為電子束的溫度不均勻,造成折射與遮罩基板的伸縮。以達到提升掃描品質的目的。

如:光刻機

6.基板印刷 印刷機周圍溫濕度保持穩(wěn)定,讓墨水的粘度與揮發(fā)量保持穩(wěn)定,以達到提升品質的目的。

如:絲網(wǎng)印刷機

 

 

 

 


1.jpg

備注:

#1:可控制的溫度因周邊環(huán)境的溫濕度(吸入空氣的溫濕度)發(fā)生變化;

#2:周邊環(huán)境條件為溫度變化梯度在1℃/h、濕度變化梯度在5%/h時,溫度可控制在±0.1℃;

        可控制的溫濕度精度約為周邊環(huán)境溫度變化梯度的1/10℃。

#3:周邊環(huán)境條件為24℃ 50%、蒸發(fā)溫度為5℃時的能力。


溫度控制精度:

±0.1℃以內(nèi)(0.01℃解析能力)

節(jié)能設計:

廢熱循環(huán)利用技術

ATC控制:

與加工區(qū)域有效地控制與保證

精美外觀設計:

富鋁型板噴塑,流線型外觀,經(jīng)典工業(yè)灰

設計,美觀大方,高雅得體

計量器具:

運行數(shù)據(jù)數(shù)字化管理

降噪設計:

低振動,低噪音



關鍵詞:三坐標測量儀

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