氟化氫用電磁閥，分析儀讀數(shù)與標(biāo)準(zhǔn)氣體的差值同樣不能超過表1誤差要求，否則分析儀應(yīng)自動(dòng)鎖止。逾期不進(jìn)行單點(diǎn)檢查時(shí)，分析儀也應(yīng)自動(dòng)鎖止。單點(diǎn)檢查不通過時(shí)，應(yīng)對分析儀進(jìn)行調(diào)整和線性化，進(jìn)行五點(diǎn)檢查調(diào)整。檢查所用氣體應(yīng)具有國家市場監(jiān)管總局批準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)參考物質(zhì)證書，每一瓶氣體都隨附一份證書使其可以溯源。

采用標(biāo)準(zhǔn)氣體進(jìn)行單檢查時(shí)首先通入零點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)氣體，對排放氣體測試儀進(jìn)行調(diào)零，然后采用低濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體通入氮氧化物分析儀進(jìn)行檢查，若檢查不通過，則應(yīng)使用高濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體通入氮氧化物分析儀進(jìn)行標(biāo)定。使用高濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體進(jìn)行標(biāo)定后，還應(yīng)使用低濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體進(jìn)行檢查，而易見低濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體濃度與限值相差甚遠(yuǎn)，即便低濃度氣體檢測通過，對于高量程位還是缺少校驗(yàn)，對于臨界值的判定有可能產(chǎn)生誤判，所以要保證氮氧化物分析儀具有良好的線性度，應(yīng)定期進(jìn)行期間核查，使用高濃度氣體校準(zhǔn)，這樣才能保證檢驗(yàn)結(jié)果持續(xù)的準(zhǔn)確性和有效性。

氟化氫用電磁閥當(dāng)單點(diǎn)檢查未能通過，應(yīng)對分析儀進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)或重新線性化處理，然后進(jìn)行五點(diǎn)檢查，五點(diǎn)檢查用五種標(biāo)準(zhǔn)氣體應(yīng)符合標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)要求，同樣要具有國家市場監(jiān)管總局批準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)參考物質(zhì)證書，按照低濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體→中低濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體→中高濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體→高濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體→零點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)氣體的順序逐一進(jìn)行檢測，全部滿足NOX不超過相對誤差±4%或者絕對誤差±25×10-6方可正常使用。