INF600-LP-WM激光平面干涉儀

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產(chǎn)品型號INF600-LP-WM

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更新時間：2025-06-12 12:27:13瀏覽次數(shù)：63次

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  激光干涉儀

平面干涉儀

球面干涉儀

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成都太科光電技術(shù)有限責(zé)任公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：19條

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聯(lián)系人：姚志順

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產(chǎn)品簡介

INF600-LP-WM激光平面干涉儀產(chǎn)品型號：INF600-LP-WM雙端口檢測大口徑平面元件面型檢測光學(xué)材料均勻性測量元件面型分析，光學(xué)數(shù)據(jù)處理

詳細(xì)介紹

特點：
用途：
技術(shù)參數(shù)：

成像質(zhì)量良好，結(jié)構(gòu)簡潔

臥式結(jié)構(gòu)，雙端口測量

操作方便，使用簡單

波長調(diào)諧式條紋分析系統(tǒng)

雙端口檢測

大口徑平面元件面型檢測

光學(xué)材料均勻性測量

平行平板元件多表面測試

元件面型分析，光學(xué)數(shù)據(jù)處理

序號	指標(biāo)名稱	指標(biāo)水平
1	測試方式	雙端口臥式結(jié)構(gòu)
2	有效測試口徑	大端口≥Φ600mm；小端口≥Φ100mm
3	相移方式與測試波長	波長調(diào)諧光源，波長632.8nm（可選1064nm,1053nm等）
4	調(diào)焦	光瞳調(diào)焦范圍大于±2.0m
5	變焦	1X光學(xué)變焦+50X數(shù)字變焦
6	探測器	分辨率≥1.2K×1.2K 或≥2.3K×2.3K 或≥3.4K×3.4K
7	儀器傳遞函數(shù)（ITF）	＞0.70 @ 0.6 cycles/mm
8	φ600mm標(biāo)準(zhǔn)楔形鏡（TF鏡）	PV優(yōu)于λ/15,RMS優(yōu)于λ/80，PSD1小于0.70nm
9	φ600mm標(biāo)準(zhǔn)反射鏡（RF鏡）	PV優(yōu)于λ/15,RMS優(yōu)于λ/80，PSD1小于0.70nm
10	系統(tǒng)空腔精度	PV優(yōu)于λ/14,RMS優(yōu)于λ/80，PSD1小于0.70nm
11	系統(tǒng)重復(fù)性精度	RMS重復(fù)性精度：＜λ/2000（2σ）
12	系統(tǒng)穩(wěn)定性	24小時測試，系統(tǒng)空腔精度與重復(fù)性均達(dá)到第10,11項精度指標(biāo)
13	系統(tǒng)可靠性	平均工作時間大于1000小時，連續(xù)工作時間大于48小時
14	分析系統(tǒng)	QPS快速抗振波長調(diào)諧隨機相移分析系統(tǒng)
15	平行平板分析	多波長掃描平行平板分析功能，厚度范圍1mm-5m
16	材料光學(xué)均勻性分析	四步法材料均勻性測量分析
17	測試對準(zhǔn)方式與角度	快速對準(zhǔn)角度＞±15°，測試操作時間小于2min
18	測試工裝	兩維角度調(diào)節(jié)，一維平移調(diào)節(jié)，氣浮大范圍調(diào)節(jié)

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