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Local Scrubber尾氣處理設備

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更新時間：2023-06-01 14:18:16瀏覽次數(shù)：331次

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產(chǎn)品簡介

Local Scrubber尾氣處理設備

詳細介紹

產(chǎn)品簡介

等離子水洗Local Scrubber設備：去除半導體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產(chǎn)生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體，如：CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。

原理

通過直流電源，使工作氣體（氮氣）進入等離子體反應器，在正負電流的作用下，被電離成等離子體，瞬間產(chǎn)生巨大的火焰，產(chǎn)生的高溫火焰將廢氣分解。

優(yōu)勢

去除效率高，不需要燃料和熱源，耗能低；
處理高沸點廢氣，應用范圍廣；
高溫、反應速度快，
設備占地面積小、便于安裝；

本裝置的直流電弧等離子體為非轉(zhuǎn)移型，兩電極區(qū)域不參與反應，只產(chǎn)生等離子體，產(chǎn)生的火焰溫度可達3000度以上。

等離子反應器的MTBF大于1年，反應室內(nèi)腔的材質(zhì)耐熱和耐腐，具有四個進氣口，裝置具備冷卻區(qū)、噴淋區(qū)及兩級填料除霧區(qū)，對PFC溫室氣體的去除效率>90%。

尾氣處理設備

性能參數(shù)

去除效率	CF4>90%@150slm、NF3>95%@300slm
MTBF	>6months;
MTTR	<1.5hr
材質(zhì)	內(nèi)腔PTEE、水箱CPVC
等離子弧使用壽命	>1year
尺寸（mm）	8008001850
進氣口	NW50*4
耗能	12kw for CF4>90%;9kw for NF3>95%
水量	<4slm

訂購須知

關于價格：Local Scrubber尾氣處理設備屬于非標定制產(chǎn)品，價格需要根據(jù)企業(yè)廢氣排放量、濃縮倍數(shù)等因素決定，具體報價請聯(lián)系我們。在格林斯達環(huán)保集團旗下環(huán)保設備廠采購Local Scrubber尾氣處理設備設備的企業(yè)，一律享受廠家價格。

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