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ALPHAPLASMA AL76 Compact等離子清洗機(jī)

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AL76Compact等離子清洗機(jī)特點(diǎn)：改善DieBonding改善WireBonding改善錫球焊接改善倒裝底部填充（FCUnderfill）改善塑封（Molding）/封膠AL76Compact等離子清洗機(jī)選項(xiàng)：進(jìn)口干泵系統(tǒng)（含相關(guān)附件）信號(hào)燈塔-紅黃綠三色額外的處理氣體線路-最多至4路氣體旋轉(zhuǎn)臺(tái)-φ350mm

詳細(xì)介紹

AL76 Compact等離子清洗機(jī)特點(diǎn)：

改善Die Bonding

改善Wire Bonding

改善錫球焊接

改善倒裝底部填充（FC Underfill）

改善塑封（Molding）/封膠

AL76 Compact等離子清洗機(jī)選項(xiàng)：

進(jìn)口干泵系統(tǒng)（含相關(guān)附件）

信號(hào)燈塔-紅黃綠三色

額外的處理氣體線路-最多至4路氣體

旋轉(zhuǎn)臺(tái)-φ350mm，旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)

ECR機(jī)構(gòu)

包裝，運(yùn)輸

AL76 Compact等離子清洗機(jī)規(guī)格：

等離子源	2.45Ghz微波等離子源，1200W
腔體	鋁.長(zhǎng)400mm，寬400mm，深490mm，76L
外觀尺寸	長(zhǎng)1050mm，寬800mm，高2020mm（含信號(hào)燈塔）
處理氣體	3路氣體+數(shù)字MKS流量控制器
真空腔門	鉸鏈門/抽屜式雙功能+觀察窗
觀察窗	UV與微波屏蔽保護(hù)
GUI 10.4"觸摸屏	Window CE操作系統(tǒng)