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SPR3000系列粗糙度輪廓儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

落地式結(jié)構(gòu)，一體化多層防震結(jié)構(gòu)3000系列推出的系列機(jī)臺(tái)，外觀更加美觀大氣，抗振效果更佳

詳細(xì)介紹

落地式結(jié)構(gòu)，一體化多層防震結(jié)構(gòu)
3000系列推出的系列機(jī)臺(tái)，外觀更加美觀大氣，抗振效果更佳。

搭載溫度傳感器
儀器搭載了溫度傳感器，軟件界面實(shí)時(shí)顯示外界溫度，可監(jiān)控儀器在不同溫度狀態(tài)下的精度表現(xiàn)。

大量程高精度輪廓傳感器

輪廓測(cè)量·高精度傳感器
指示精度：≤±(0.6+|0.1H|)μm

自主研發(fā)寬范圍粗糙度傳感器

粗糙度測(cè)量·高分辨率傳感器
指示精度：≤±(5nm+2.5%)

產(chǎn)品參數(shù)：

項(xiàng)目		規(guī)格
測(cè)量范圍	X軸	0-220mm可選
	Z軸	0-620mm可選
	Z1軸	C：0-±30mm可選/R：±620μm
Z1輪廓指示精度		≤±（0.6+\|0.1H\|）μm
Z1粗糙度指示精度		≤±（5nm+2.5%）