HPG400高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計INFICON公司生產(chǎn)的HPG400型高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計將高壓強(qiáng)熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個小型、輕便與經(jīng)濟(jì)的規(guī)管中，測量壓強(qiáng)從210-6至1000毫巴(1.510-6至750乇)

詳細(xì)介紹

HPG400高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計

INFICON公司生產(chǎn)的HPG400型高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計將高壓強(qiáng)熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個小型、

輕便與經(jīng)濟(jì)的規(guī)管中，測量壓強(qiáng)從2×10^-6至1000毫巴(1.5×10^-6至750乇)。HPG400提供高度的重復(fù)性

和再現(xiàn)性壓強(qiáng)測量，用于精確的濺射過程的壓強(qiáng)控制。

用戶 優(yōu) 越性

◆ HPG400節(jié)省成本和設(shè)備空間，降低真空測量的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性

◆ 高壓強(qiáng)熱電離真空計1×10^-5毫巴為要求高的過車工控制提供精確、可靠的壓強(qiáng)測量

◆ 用戶可選的熱電離發(fā)射在5×10^-2至1毫巴之間起始工作

◆ 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱陰極防止它過早燒毀

◆ 高真空皮拉尼自動調(diào)整，減少操作人員的干預(yù)

◆ 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口

典型 應(yīng) 用

◆ 半導(dǎo)體制作中濺射工藝應(yīng)用，電子學(xué)的媒體工業(yè)

◆ 工業(yè)鍍膜

◆ 在低至超高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測量和控制

訂購資料

型號	HPG400 Without LCD display	HPG400 With LCD display	HPG400-SP With Profibus DP¹^）	HPG400-SD With DeviceNet¹^）
DN 25ISO-KF	353-520	353-521	353-525	353-527
DN 40CF-R	353-522	353-523	353-526	353-528
更換傳感器25ISO-KF	354-487	354-487	354-487	354-487
更換傳感器40CF-R	354-488	354-488	354-488	354-488