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上海良允科學儀器有限公司
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產(chǎn)品型號αL4X-911R1
品 牌
廠商性質其他
所 在 地上海市
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更新時間：2024-04-20 12:04:13瀏覽次數(shù)：187次
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日本特許機器株式會社（TOKKYOKIKI)成立于1969年，是世界防振、消磁產(chǎn)品的制造商，一臺主動式除振裝置實用機由TOKKYOKIKI于1988年在日本半導體展示會上推出，TOKKYOKIKI一直致力研究，精密穩(wěn)定，堅固耐用的防振產(chǎn)品、振動分析儀器和各行業(yè)防振設備，以滿足各領域不同產(chǎn)業(yè)的不同需求
日本特許機器株式會社（TOKKYOKIKI)成立于1969年，是世界防振、消磁產(chǎn)品的制造商，一臺主動式除振裝置實用機由TOKKYOKIKI于1988年在日本半導體展示會上推出，TOKKYOKIKI一直致力研究，精密穩(wěn)定，堅固耐用的防振產(chǎn)品、振動分析儀器和各行業(yè)防振設備，以滿足各領域不同產(chǎn)業(yè)的不同需求。
αL4X-911R1主動式隔振平臺是結合了空壓（低頻）和線性馬達（高頻）的兩種優(yōu)點，專為掃描電子顯微鏡而設計的高精密隔振平臺。 本主動隔振系統(tǒng)可將影響儀器設備正常工作的安裝場地的細微振動，在所有頻率范圍內予以全面衰減而不降低儀器設備本身具有的各項性能。 αL4X-911R1的基本原理和功能 利用加速度傳感器檢測地板的振動，通過6自由度的反饋及前饋控制的雙重主動控制，由氣動和線性馬達執(zhí)行器來實現(xiàn)振動衰減，消除影響電子顯微鏡正常工作的安裝場地的細微振動，滿足電子顯微鏡廠商提供的允許振動值。 技術參數(shù)：
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