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類型 8715 - 氣體質(zhì)量流量調(diào)節(jié)器 (Mass Flow Controller)

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型號(hào)8715是一臺(tái)用于調(diào)節(jié)侵蝕性氣體質(zhì)量流量的裝置，它需要一個(gè)與介質(zhì)相分離的傳感器

詳細(xì)介紹

型號(hào) 8715 是一臺(tái)用于調(diào)節(jié)侵蝕性氣體質(zhì)量流量的裝置，它需要一個(gè)與介質(zhì)相分離的傳感器。在數(shù)字的電子調(diào)節(jié)設(shè)備中，會(huì)將傳感器提供的實(shí)際值與規(guī)定的額定值進(jìn)行比較；存在調(diào)節(jié)偏差時(shí)，會(huì)通過(guò)一種 PI 調(diào)節(jié)算法對(duì)發(fā)送到比例閥上的調(diào)節(jié)參數(shù)進(jìn)行修改。這樣一來(lái)，就可以將質(zhì)量流量保持在一個(gè)確定的數(shù)值上，或使其遵循規(guī)定的曲線輪廓，而不會(huì)受到壓力波動(dòng)或設(shè)備中其他變化的影響。 可針對(duì)兩種不同的氣體對(duì)型號(hào) 8715 進(jìn)行校準(zhǔn)，用戶可在兩者之間進(jìn)行轉(zhuǎn)換。一個(gè)直動(dòng)式比例閥作為調(diào)節(jié)元件，確保了高反應(yīng)靈敏度和裝置良好的調(diào)節(jié)特性。通過(guò)數(shù)字方式與更高一級(jí)的設(shè)備進(jìn)行通訊，這樣一來(lái)，就可以省去額外的 D/A 轉(zhuǎn)換。
采用毛細(xì)管技術(shù)的旁通儀器，適合額定流量范圍 5 mlN/min 至 15 lN/min
適合侵蝕性氣體
緊湊型版本和數(shù)字通訊


關(guān)鍵詞：傳感器
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