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廣州安特激光技術(shù)有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹：　　微電子應(yīng)用激光器（SE-Version）:半導(dǎo)體加工，掩模檢查，微光刻和計(jì)量激光器，滿足CE標(biāo)志和SEMIS2標(biāo)準(zhǔn)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：

　　微電子應(yīng)用激光器（SE-Version）: 半導(dǎo)體加工，掩模檢查，微光刻和計(jì)量激光器，滿足CE標(biāo)志和SEMI S2標(biāo)準(zhǔn)。所有半導(dǎo)體采用全金屬/陶瓷技術(shù)，以最小的服務(wù)實(shí)現(xiàn)最長(zhǎng)的激光壽命。比標(biāo)準(zhǔn)的， SE型具有潔凈室封裝，長(zhǎng)的腔室壽命和更長(zhǎng)的氣體壽命。

產(chǎn)品參數(shù)：

參數(shù)	F2	ArF	KrF	XeCl	XeF
波長(zhǎng) nm	157	193	248	308	351
能量.mJ	3	20	35	15	15
能量控制范圍，mJ	1~3	5~20	10~35	7~15	7~15
穩(wěn)定能量 200Hz	2.5	15	30	15	12
平均功率 W 300/600	0.6/1.2	4/7	6/12	3/6	3/6
穩(wěn)定性標(biāo)準(zhǔn)偏差	<1% 重復(fù)頻率
重復(fù)率，Hz	300/600/1000
動(dòng)態(tài)態(tài)氣體壽命	2.00E+08	2.00E+08	5.00E+08	1.00E+08	3.00E+08
靜態(tài)氣體壽命 50%能量	15days	60days	90days	>1year	90days
脈沖長(zhǎng)度，ns	12~15
光束尺寸，ns	5×3	8×3
發(fā)散，mrad全角	1×2
冷卻方式	風(fēng)冷
光學(xué)服務(wù)	5.00E+08	3.00E+08	1.00E+09	1.00E+08	3.00E+08