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產(chǎn)品型號(hào)Certas Wing
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地
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更新時(shí)間：2023-06-16 14:28:31瀏覽次數(shù)：429次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線CertasWING化學(xué)氣體干法刻蝕機(jī)“CertasWING"設(shè)計(jì)用于加工300mm晶圓，是Certas的代系統(tǒng)
Certas WING 化學(xué)氣體干法刻蝕機(jī)
“Certas WING"設(shè)計(jì)用于加工300mm晶圓，是Certas的代系統(tǒng)。這是一種 ，高產(chǎn)量的氣體化學(xué)蝕刻系統(tǒng)，可以在不使用清洗液的情況下進(jìn)行表面蝕刻和清洗。與濕式清潔相比，已經(jīng)干燥的處理單元不使用化學(xué)品，不需要昂貴的廢物處理設(shè)備，并且具有改進(jìn)的可維護(hù)性。它了水印，并提供了各種氧化膜蝕刻的選擇比例，細(xì)微的界面清潔控制，與TEL清潔系統(tǒng)一起使用時(shí)具有更高的靈活性。它支持從批量生產(chǎn)到下一代開(kāi)發(fā)的廣泛應(yīng)用。
特征
的氧化膜選擇性蝕刻和氣體化學(xué)品預(yù)處理
新的腔室設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了高吞吐量（大約兩倍）和小占用空間
無(wú)等離子處理可實(shí)現(xiàn)耗材的高正常運(yùn)行時(shí)間和低成本
應(yīng)用
氧化硅膜的蝕刻和回蝕
硅觸點(diǎn)預(yù)清洗
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