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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司


Park帕克 NX-TSH

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產(chǎn)品型號(hào)NX-TSH

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間:2023-06-16 12:48:25瀏覽次數(shù):135次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:420條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:林經(jīng)理

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

ParkNX-TSHParkNX-TSH的全自動(dòng)特點(diǎn):?可靈活掌握自動(dòng),半自動(dòng)和手動(dòng)模式?為每個(gè)自動(dòng)化程序提供可編輯測(cè)量方法?實(shí)時(shí)監(jiān)控測(cè)量過(guò)程?自動(dòng)分析獲取測(cè)量數(shù)據(jù)-自動(dòng)換針器(ATX)ATX通過(guò)模式識(shí)別自動(dòng)定位探針,并使用一種新的磁性方法來(lái)取放新舊探針

詳細(xì)介紹

Park NX-TSH



Park NX-TSH的全自動(dòng)特點(diǎn):

? 可靈活掌握自動(dòng),半自動(dòng)和手動(dòng)模式
? 為每個(gè)自動(dòng)化程序提供可編輯測(cè)量方法
? 實(shí)時(shí)監(jiān)控測(cè)量過(guò)程
? 自動(dòng)分析獲取測(cè)量數(shù)據(jù)

- 自動(dòng)換針器(ATX)


ATX通過(guò)模式識(shí)別自動(dòng)定位探針,并使用一種新的磁性方法來(lái)取放新舊探針。激光光斑通過(guò)電動(dòng)定位技術(shù)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)。


-電離系統(tǒng)可提供更穩(wěn)定的掃描環(huán)境

Park創(chuàng)新的電離系統(tǒng)可快速有效地去除樣品環(huán)境中的靜電荷。由于該系統(tǒng)始終生成并保持正負(fù)離子的理想平衡,因此可以創(chuàng)建一個(gè)極其穩(wěn)定的電荷環(huán)境,幾乎不污染周圍區(qū)域,并且將在樣品處理過(guò)程中產(chǎn)品意外靜電的風(fēng)險(xiǎn)降至。


Park NX-TSH技術(shù)參數(shù):

*本技術(shù)參數(shù)是可定制的。可咨詢Park原子力顯微鏡,以獲取更多信息。




系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):

樣品尺寸: 520 mm X 520 mm X12 mm, 10kg

電動(dòng)式X方向載物臺(tái):行程可達(dá)625 mm,±3 μm分辨率

電動(dòng)式Y(jié)方向載物臺(tái):行程可達(dá)525 mm,±3 μm分辨率

電動(dòng)式Z方向載物臺(tái):Z軸移動(dòng)距離為25 mm, μm分辨率,重復(fù)性
電動(dòng)式對(duì)焦臺(tái):Z軸行進(jìn)光學(xué)距離為9 mm

COGNEX圖案識(shí)別:圖案校對(duì)分辨率為1/4像素


掃描器性能:




XY掃描范圍:100 μm ×100 μm

XY分辨率: nm

Z掃描范圍:15 μm

Z分辨率: nm


AFM和XY移動(dòng)平臺(tái)控制器

ADC:18個(gè)頻道,4個(gè)高速通道,X,Y和Z位置傳感器(24-位ADC)

DAC: 12個(gè)頻道,2個(gè)高速DAC通道,X,Y和Z的定位(20-bit DAC)




合規(guī)

CE認(rèn)證:SEMI S2 / S8標(biāo)準(zhǔn)




設(shè)施要求

待機(jī)室溫:10°C?40°C

工作室溫:18°C?24°C

濕度:30%至60%(不凝結(jié))

地板振動(dòng)要求:VC-E(3微米/秒)

噪音:低于65 dB


氣動(dòng)式:真空度:-80 kPa

CDA(或N2): Mpa

電源額定值:208V-240 V,單相,17 A()

總耗電量:咨詢Park原子力顯微鏡

接地電阻:低于100歐姆

關(guān)鍵詞:顯微鏡 傳感器

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