ET系列勻膠機適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱：旋

詳細介紹

產(chǎn)品介紹

　　ET系列勻膠機適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。

　　英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱：旋涂儀、旋涂機、甩膠機、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機。

　　勻膠機產(chǎn)品特點

　　采用閉環(huán)控制伺服電機，數(shù)字式增速信號反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長，保證勻膠的均一性。

　　5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設(shè)置)，可選配10個可編程程序，每個程序下可設(shè)置10個勻膠梯度階段，z多100個階段。

　　內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，保證旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂。

　　多重安全保護:

　　電磁安全開關(guān)，蓋子打開卡盤停止，保證安全;

　　蓋子自鎖功能，防止飛片蓋彈開傷人;

　　雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，限度保證實驗人員安全。

　　樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護，有效降低電機進膠的風(fēng)險。

　　一機兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

　　符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤設(shè)計，取放樣品方便。

　　不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤采用聚丙烯(NPP-H)材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。

　　上下雙腔體設(shè)計，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計便于收集膠液，并帶廢膠

　　勻膠機轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動迅速，旋涂均勻，操作簡單，結(jié)構(gòu)緊湊實用，為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué)，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

　　勻膠機轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動迅速，旋涂均勻，操作簡單，結(jié)構(gòu)緊湊實用，為實驗室提供了理想的解決方案。

　　勻膠機目前型號有：

類別	型號	特點	對比
通用型	ET-4A	皮實耐用，	皮實耐用,性價比高,國產(chǎn)電機
通用型	ET-4B	304不銹鋼材質(zhì)防酸防堿防腐蝕	4A升級款,不銹鋼機身,國產(chǎn)電機
中端型	ET-4BC	4.3寸彩色觸摸屏可設(shè)10段速度段加速度可調(diào) 轉(zhuǎn)速范圍50-10000轉(zhuǎn)/分鐘	4B升級款 4.3寸真彩色觸摸屏存儲10段無數(shù)組數(shù)據(jù) 國產(chǎn)電機
中端型	ET-4C	4.3寸真彩色觸摸屏，最多可設(shè)10段10組數(shù)據(jù)，加速度可調(diào)，帶USB口可外接鍵盤鼠標(biāo)U盤等設(shè)備，體積小巧可放入手套箱。可接無線鼠標(biāo)鍵盤：機器可放于手套箱內(nèi),同時客戶可在手套箱外遠程操作機器 1.帶防飛片保護與報警 2.帶防進膠保護與報警 3.帶自動取片提示功能	帶USB通信接口可正反轉(zhuǎn)旋涂美國進口電機
型	ET-4L	8寸超大真彩色觸摸屏，最多可設(shè)15段無數(shù)組數(shù)據(jù)，加速度可調(diào)，帶USB口，串口，網(wǎng)口可外接鍵盤鼠標(biāo)U盤等設(shè)備	8寸超大真彩色觸摸屏帶USB，RS485串口可正反轉(zhuǎn)旋涂德國進口電機
	ET-4E	1.室溫-200℃精確控制， 2.8寸超大真彩色觸摸屏， 3.旋涂正反轉(zhuǎn)可自由切換， 4.可帶2-4路自動滴膠顯影功能， 5.腔室采用PTFE材料防酸防堿防腐蝕 6.腔室?guī)С閺U氣功能 7.吸附不足報警與互鎖 8.帶進膠保護與報警	帶加熱功能可帶2-4路自動滴膠顯影功能腔室采用聚四氟乙烯材料可正反轉(zhuǎn)旋涂德國進口電機
	ET-4	1.室溫-200℃精確控制 2.可放入手套箱	可放入手套箱腔室采用聚四氟乙烯材料
	ET-4Q	1.旋涂基片可支持300mm(12寸)基片 2.帶機械手可編程涂膠顯影	桌面型
	ET-4K	1.旋涂基片可支持450mm基片	1.立柜結(jié)構(gòu)方便操作
	ET-4X	產(chǎn)線級旋涂顯影8寸或12寸硅片	工業(yè)機柜帶機械手