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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市邦企創(chuàng)源科技有限公司


勻膠機

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產(chǎn)品型號

品       牌

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更新時間:2023-10-07 11:20:13瀏覽次數(shù):282次

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產(chǎn)品簡介

ET系列勻膠機適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點,并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。 英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱:旋

詳細介紹

產(chǎn)品介紹

  ET系列勻膠機適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點,并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。

  英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱:旋涂儀、旋涂機、甩膠機、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機。

  勻膠機產(chǎn)品特點

  采用閉環(huán)控制伺服電機,數(shù)字式增速信號反饋,速勻準(zhǔn)確,壽命長,保證勻膠的均一性。

  5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標(biāo)配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設(shè)置),可選配10個可編程程序,每個程序下可設(shè)置10個勻膠梯度階段,z多100個階段。

  內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置,保證旋涂均勻,可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂。

  多重安全保護:

  電磁安全開關(guān),蓋子打開卡盤停止,保證安全;

  蓋子自鎖功能,防止飛片蓋彈開傷人;

  雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,限度保證實驗人員安全。

  樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護,有效降低電機進膠的風(fēng)險。

  一機兩用,根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

  符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤設(shè)計,取放樣品方便。

  不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸堿防腐蝕,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。

  上下雙腔體設(shè)計,較大的上腔體便于擦拭去除膠液,錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計便于收集膠液,并帶廢膠

  勻膠機轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結(jié)構(gòu)緊湊實用,為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué),硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

  勻膠機轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結(jié)構(gòu)緊湊實用,為實驗室提供了理想的解決方案。

  勻膠機目前型號有:

類別 型號 特點 對比

通用型

ET-4A 皮實耐用, 皮實耐用,性價比高,國產(chǎn)電機
ET-4B 304不銹鋼材質(zhì)防酸防堿防腐蝕 4A升級款,不銹鋼機身,國產(chǎn)電機

中端型

 

ET-4BC 4.3寸彩色觸摸屏
可設(shè)10段速度段
加速度可調(diào)
轉(zhuǎn)速范圍50-10000轉(zhuǎn)/分鐘
4B升級款
4.3寸真彩色觸摸屏
存儲10段無數(shù)組數(shù)據(jù)
國產(chǎn)電機
ET-4C 4.3寸真彩色觸摸屏,最多可設(shè)10段10組數(shù)據(jù),加速度可調(diào),帶USB口可外接鍵盤鼠標(biāo)U盤等設(shè)備,體積小巧可放入手套箱。可接無線鼠標(biāo)鍵盤:機器可放于手套箱內(nèi),同時客戶可在手套箱外遠程操作機器
1.帶防飛片保護與報警
2.帶防進膠保護與報警
3.帶自動取片提示功能
帶USB通信接口
可正反轉(zhuǎn)旋涂

美國進口電機

 

 

ET-4L 8寸超大真彩色觸摸屏,最多可設(shè)15段無數(shù)組數(shù)據(jù),加速度可調(diào),帶USB口,串口,網(wǎng)口可外接鍵盤鼠標(biāo)U盤等設(shè)備 8寸超大真彩色觸摸屏
帶USB,RS485串口
可正反轉(zhuǎn)旋涂
德國進口電機
ET-4E 1.室溫-200℃精確控制,
2.8寸超大真彩色觸摸屏,
3.旋涂正反轉(zhuǎn)可自由切換,
4.可帶2-4路自動滴膠顯影功能,
5.腔室采用PTFE材料防酸防堿防腐蝕
6.腔室?guī)С閺U氣功能
7.吸附不足報警與互鎖
8.帶進膠保護與報警
帶加熱功能
可帶2-4路自動滴膠顯影功能
腔室采用聚四氟乙烯材料

可正反轉(zhuǎn)旋涂
德國進口電機
ET-4 1.室溫-200℃精確控制
2.可放入手套箱
可放入手套箱
腔室采用聚四氟乙烯材料
ET-4Q 1.旋涂基片可支持300mm(12寸)基片
2.帶機械手可編程涂膠顯影
桌面型
ET-4K 1.旋涂基片可支持450mm基片 1.立柜結(jié)構(gòu)方便操作
ET-4X 產(chǎn)線級旋涂顯影8寸或12寸硅片 工業(yè)機柜帶機械手


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