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行業(yè)產(chǎn)品

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上海洛豐精密檢測儀器有限公司


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美國ZYGO激光干涉儀VeriFire

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產(chǎn)品型號VeriFire

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

聯(lián)系方式:馬經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-10-16 13:37:01瀏覽次數(shù):404次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:19條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:馬經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

菲索型激光干涉儀,具有環(huán)形光源偽跡消除抑制技術(shù),是一種高精度、共光路面形計量干涉儀。ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire激光干涉儀,繼承了工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GPI激光干涉儀系列的大部分優(yōu)點,融合了機械相移技術(shù)、革命性的數(shù)據(jù)采集技術(shù)、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動補償軟件、非球面測量技術(shù)和波紋抑制技術(shù)等。 Zygo推出用于在震動環(huán)境下測量的DynaFiz干涉儀。

詳細(xì)介紹

系統(tǒng):

◆測量功能:精密測量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面面形、精密測量光學(xué)系統(tǒng)的傳輸波前

◆測量技術(shù):機械相移干涉測量(PSI)

◆校準(zhǔn)系統(tǒng) :快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點定位于十字線)

◆測量光束直徑 :4″(102mm)或6″(152mm)

◆對準(zhǔn)視場范圍FOV :4″:±3°;6″:±2°;

◆光學(xué)中心線 :4.25″(108mm)

◆激光光源:大功率穩(wěn)頻氦-氖激光,III

◆波長: 633 nm

◆頻率穩(wěn)定度: < 0.0001 nm

◆相干長度 :>100m

◆成像分辨率 :1000 x 1000 像素

◆幀速 :43Hz

◆數(shù)據(jù)采集時間 :302ms

◆數(shù)據(jù)模式: 8位

◆放大 :電控數(shù)顯放大1-5X

◆偏振 :接近圓偏振(1.2:1或者更好)

◆光曈調(diào)焦范圍: 4″:±2.5m;6″:±5.5m;

◆計算機和軟件 :高性能DELL PC,Windows7,64位,ZYGO軟件MetroproTM X和MetroproTM 9

◆安裝構(gòu)造 :水平臥式或垂直立式

◆附件 :詳細(xì)參考ZYGO 激光干涉儀附件向?qū)募?,OMP-0463

◆尺寸(長x寬x高): 4″:69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.);6″:92 x 31 x 34cm (36.4 x 12.1 x 13.4 in.)

性能參數(shù):

◆RMS重復(fù)性: < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)

◆RMS波前重復(fù)性:< 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)

◆像素峰值偏差:< 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)

工作環(huán)境:

◆溫度:15°C - 30°C (59°F - 86°F)

◆溫度變化率: <1.0°C/15min

◆濕度:相對濕度5% - 95% , 無凝結(jié)

◆隔振:機械移相測量模式推薦使用被動隔振系統(tǒng)。

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