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等離子體指部分或電離的氣體,且自由電子和離子所帶正、負(fù)電荷的總和抵消,宏觀上呈現(xiàn)中性電。等離子體又叫做電漿,是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì),它廣泛存在于宇宙中,常被視為是除去固、液、氣外,物質(zhì)存在的第四態(tài)。
看似“神秘"的等離子體,其實(shí)是宇宙中一種常見的物質(zhì),在太陽、恒星、閃電中都存在等離子體,它占了整個(gè)宇宙的99%?,F(xiàn)在人們已經(jīng)掌握利用電場和磁場產(chǎn)生來控制等離子體。等離子體可分為兩種:高溫和低溫等離子體。
低溫等離子體的電離率較低,電子溫度遠(yuǎn)高于離子溫度,離子溫度甚至可與室溫相當(dāng)。所以低溫等離子體是非熱平衡等離子體,低溫等離子體中存在著大量的、種類繁多的活性粒子,比通常的化學(xué)反映所產(chǎn)生的活性粒子種類更多、活性更強(qiáng),更易于和所接觸的材料表面發(fā)生反映,因此它們被用來對(duì)材料表面進(jìn)行改性處理。
與傳統(tǒng)的方法相比,等離子體表面處理具有成本低、無廢棄物、無污染等顯著的優(yōu)點(diǎn),同時(shí)可以得到傳統(tǒng)的化學(xué)方法難以達(dá)到的處理效果。低溫等離子設(shè)備價(jià)格現(xiàn)在低溫等離子設(shè)備廣泛運(yùn)用于金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等多種領(lǐng)域。
等離子設(shè)備中頻,射頻等離子處理機(jī)型;處理方式有水平、垂直、卷式RTR、轉(zhuǎn)鼓等真空等離子處理設(shè)備和噴射、準(zhǔn)輝光、隧道、水平線多種常壓等離子處理設(shè)備;
等離子處理機(jī)具有高穩(wěn)定性、高性價(jià)比、高均勻性等諸多優(yōu)點(diǎn)。
特色鮮明的處理腔體形狀和電極結(jié)構(gòu)可以滿足不同形狀、不同材質(zhì)的表面處理要求,包括薄膜、織物、零件、粉體和顆粒等。
低溫等離子體表面處理設(shè)備、水平式低溫等離子體表面處理設(shè)備、卷對(duì)卷式低溫等離子體表面處理設(shè)備、以及大氣壓輝光放電表面處理設(shè)備
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