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行業(yè)產(chǎn)品

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天津瑞利光電科技有限公司


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CYBER TECHNOLOGIES厚度測(cè)量?jī)xCT 350T

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產(chǎn)品型號(hào)CT 350T

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時(shí)間:2024-05-09 09:31:58瀏覽次數(shù):188次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹快速準(zhǔn)確的雙面掃描系統(tǒng)測(cè)量速度:2kHz/4kHz/20kHz在x和y方向上移動(dòng)300mm(200mm)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

快速準(zhǔn)確的雙面掃描系統(tǒng)

測(cè)量速度:2 kHz / 4 kHz / 20 kHz

在x和y方向上移動(dòng)300 mm(200 mm),橫向分辨率為50 nm,電動(dòng)z軸分辨率為20 nm

2D輪廓,3D地形圖和3D厚度圖

掃描范圍大

x,y,z分辨率,行程為max.300 mm(200 mm)

零件厚度max.80 mm

彩色白光傳感器

高分辨率離軸相機(jī)

CT 350T是一款非接觸式雙面光學(xué)輪廓儀,具有300毫米x,y掃描臺(tái)。頂部和底部傳感器安裝在行程為100 mm的高精度Z軸上。雙面自動(dòng)對(duì)焦功能甚至可以測(cè)量嚴(yán)重彎曲或彎曲的零件。兩個(gè)傳感器均收集與x,y編碼器信號(hào)同步的高度數(shù)據(jù),并軸向?qū)R以確保精確的差分厚度測(cè)量。該軟件同時(shí)從頂部和底部表面生成2D輪廓和3D貼圖,并計(jì)算相應(yīng)的總厚度輪廓或貼圖。

運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)使用快速,準(zhǔn)確的磁性直線電機(jī)。通過(guò)以4 kHz的數(shù)據(jù)速率觸發(fā)彩色白光傳感器,可以將檢查時(shí)間更小化。通過(guò)在平臺(tái)孔上安裝轉(zhuǎn)接板,該系統(tǒng)可以用作標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)表面輪廓儀,使CT 350T成為功能廣泛的表面和厚度測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)也有較小的版本,如CT 250T,具有200 mm的行程,非常適合8英寸晶圓或基板和太陽(yáng)能晶圓。

產(chǎn)品參數(shù)

集成系統(tǒng)控制器:包括運(yùn)動(dòng)控制,傳感器控制器(4 kHz),電源,工作站的USB接口

工作站電腦:查詢當(dāng)前規(guī)格,22英寸寬屏顯示器

連接方式:以太網(wǎng),DVD驅(qū)動(dòng)器,USB(正面和背面),并行端口,鍵盤,鼠標(biāo),DVI和模擬視頻輸出

電源要求:100-240 V AC,50-60 Hz,2.0 A(240 V),5 A(100 V)

測(cè)量表面尺寸:300 x 300 [mm](12 x 12 [in])

線性編碼器分辨率

X,Y:50 nm(2μin)

Z:5 nm(0.2 µin)

橫向分辨率:1微米(載物臺(tái)分辨率:50 nm)

X和Y的行程限制(電動(dòng)):350 x 300 [mm](13.8 x 12 [in])

Z行程限制(電動(dòng)):100 mm (4 in)

平臺(tái)上的負(fù)載:max.10 kg

可用的傳感器:共焦白光傳感器

工作溫度:18°-20°C(64°F – 68°F)

尺寸(長(zhǎng)X寬X高):1290 x 1082 x 1425 [mm](約43 x 51 x 56 [in])

重量:650 kg (1.433 lbs)


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