產(chǎn)品介紹比傳統(tǒng)的2D掃描儀更大的視野簡(jiǎn)化了對(duì)較大零件的處理在整個(gè)視場(chǎng)中將光斑失真降至更低，從而將高質(zhì)量的激光加工零件的加工偏差降至更低空氣和水冷卻選項(xiàng)提供熱穩(wěn)定性并提高長(zhǎng)期精度適用于各種激光波長(zhǎng)的多種鏡面處理選擇Aerotech的AGV-SPO單樞軸檢流計(jì)掃描儀提供了傳統(tǒng)兩鏡振鏡掃描儀的替代產(chǎn)品

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

比傳統(tǒng)的2D掃描儀更大的視野簡(jiǎn)化了對(duì)較大零件的處理

在整個(gè)視場(chǎng)中將光斑失真降至更低，從而將高質(zhì)量的激光加工零件的加工偏差降至更低

空氣和水冷卻選項(xiàng)提供熱穩(wěn)定性并提高長(zhǎng)期精度

適用于各種激光波長(zhǎng)的多種鏡面處理選擇

Aerotech的AGV-SPO單樞軸檢流計(jì)掃描儀提供了傳統(tǒng)兩鏡振鏡掃描儀的替代產(chǎn)品。 AGV-SPO源自流行的AGV-HPO掃描儀，可為關(guān)鍵的激光微加工應(yīng)用提供更大的視野并減少點(diǎn)畸變。

大視野，光斑失真更小

的光學(xué)設(shè)計(jì)可有效控制光束入射光瞳，使其與X和Y掃描儀運(yùn)動(dòng)保持一致，從而增加了掃描儀系統(tǒng)的有效數(shù)值孔徑。這種設(shè)計(jì)直接為給定的焦距提供了更大的視野，并減少了整個(gè)工作區(qū)域上的光斑失真。這些優(yōu)勢(shì)意味著AGV-SPO能夠更快，更一致地處理大型零件。

設(shè)計(jì)配置

AGV-SPO可提供多種光學(xué)涂層和聚焦光學(xué)器件，以支持各種常用的激光波長(zhǎng)和焦距。為了滿(mǎn)足其他需求，Aerotech可以根據(jù)要求為AGV-SPO提供定制的光學(xué)元件和光學(xué)安裝功能。AGV-SPO可以配置有風(fēng)冷鏡，水冷電機(jī)或兩者。這些主動(dòng)冷卻功能有助于在存在由激光引起的熱干擾以及劇烈運(yùn)動(dòng)的情況下，保持工作平面的準(zhǔn)確性。

高級(jí)編程功能

AGV-SPO利用了Aerotech的所有高級(jí)運(yùn)動(dòng)和位置同步輸出（PSO）功能，這些功能是針對(duì)具有傳統(tǒng)振鏡和伺服平臺(tái)的激光加工應(yīng)用開(kāi)發(fā)的。諸如“加速限制”之類(lèi)的輪廓功能可用于自動(dòng)降低急轉(zhuǎn)彎或小半徑時(shí)的速度，以大程度地減小過(guò)沖?？梢曰趲в蠵SO的反射鏡的位置反饋來(lái)觸發(fā)激光，以確保在掃描儀改變速度時(shí)始終保持一致的光斑重疊。Aerotech的無(wú)限視場(chǎng)（IFOV）功能無(wú)縫地結(jié)合了伺服和掃描儀的運(yùn)動(dòng)，從而在整個(gè)伺服平臺(tái)的整個(gè)行程范圍內(nèi)擴(kuò)展了掃描儀的標(biāo)記功能，從而消除了在更傳統(tǒng)的移動(dòng)重復(fù)曝光過(guò)程中可能發(fā)生的縫合錯(cuò)誤。

產(chǎn)品參數(shù)

光束孔徑：14 mm

掃描角度：max.±20°

光束位移：35 mm

抖動(dòng)（增量運(yùn)動(dòng)min.）：0.3 µradRMS

精度：50 µrad pk-pk

重復(fù)性：0.6 µradRMS

增益誤差：0.05 mrad

非線性：0.005％

跟蹤誤差：0 µsec

峰值加速度：60,000 m/s2

連續(xù)加速：20,000 m/s2