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科賦樂精密儀器(上海)有限公司


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標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號MODEL 3660 SERIES

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時間:2023-12-12 14:18:12瀏覽次數(shù):210次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:82條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

MODEL3660SERIESMODEL3660系列是一款質(zhì)量流量控制器,主要結(jié)構(gòu)緊湊,成本低廉

詳細(xì)介紹

MODEL 3660 SERIES

MODEL 3660系列是一款質(zhì)量流量控制器,主要結(jié)構(gòu)緊湊,成本低廉。
從大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)的研發(fā)應(yīng)用中,我們作為各種分析儀器和真空設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)模型取得了許多成就,我們有各種衍生模型和選項。

  • 配備流量傳感器,采用改進(jìn)的恒流溫差檢測方法,實現(xiàn)高速響應(yīng)
  • 采用常閉閥門,方向操作安全
  • 通過電磁執(zhí)行器確保高可靠性
  • 燃?xì)饪刂频牡蛪翰钜?guī)格(LP選項:3660)

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

模型 3660 3665
流量范圍
(N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM)
10SCCM~20SLM(可選) 30SLM~100SLM(可選)
傳感器方式 熱繞組傳感器
閥門方法 比例螺線管閥門(未通電時關(guān)閉)
控制范圍(* 1) 2~100%(F.S.) 5~100%(F.S.)
響應(yīng)速度 在2秒內(nèi)
(在±2%F.S.內(nèi))
在3秒內(nèi)
(在±2%F.S.內(nèi))
準(zhǔn)確性 ±1.0%F.S.(25°C) ±1.5%F.S.(25°C)
溫度系數(shù) ±0.1%F.S./°C(15~35°C) ±0.2%F.S./°C(15~35°C)
再現(xiàn)性 ±0.5%F.S.
操作壓差 F.S.≤5SLM 50~300 kPa(G) F.S.≤50SLM 150~300 kPa(G)
F. S.> 5 SLM 100~300 kPa(G) F. S.> 50 SLM 200~300 kPa(G)
可選:中壓差壓規(guī)格(MP),低壓差規(guī)格(LP)可根據(jù)條件制造
壓力(* 1) 980kPa(G)
He泄漏率(* 2) 1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度 5~45℃
允許環(huán)境濕度 10~90%RH(無結(jié)露)
氣體接觸材料 主體SUS316,SUS316L,磁性不銹鋼
閥座FKM(選件CR或NBR)
密封材料FKM(選件CR或NBR)
電氣連接 Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)(符合SEMI標(biāo)準(zhǔn))
流量設(shè)定
輸入信號
0~5VDC
(輸入阻抗1MΩ以上)
流量輸出信號 0~5 VDC(外部負(fù)載電阻250kΩ以上)
所需電源 +15 VDC(±5%)100 mA,。15 VDC(±5%)250 mA
接頭
(體型)
標(biāo)準(zhǔn)1 / 4F900
(9 / 16.18 UNF)
選項1/8 F900,1 / 4 UJR,Rc1 / 4等
標(biāo)準(zhǔn)3 / 8F 900
(9 / 16.18 UNF)
選項1 / 2F 900,3 / 8 UJR,Rc 3/8等
重量 約1000g 約1500g

(* 1)不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量(參考值)為1×10.6Pa?m3 / sec以下。

警告

流量范圍附帶的規(guī)格(流量范圍,精度,響應(yīng)性等)是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外,生產(chǎn)規(guī)格條件是初級側(cè)小于300kPa,次級側(cè)向大氣開放。
有關(guān)壓力條件,請另行咨詢。

尺寸圖


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