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行業(yè)產(chǎn)品

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科賦樂(lè)精密儀器(上海)有限公司


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低成本金屬密封質(zhì)量流量計(jì)

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產(chǎn)品型號(hào)MODEL 5410 SERIES

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時(shí)間:2022-10-19 18:55:12瀏覽次數(shù):198次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

MODEL5410SERIES5410型是一種質(zhì)量流量計(jì),具有進(jìn)一步改進(jìn)的基本性能

詳細(xì)介紹

MODEL 5410 SERIES

5410型是一種質(zhì)量流量計(jì),具有進(jìn)一步改進(jìn)的基本性能。
雖然外觀是傳統(tǒng)產(chǎn)品,但傳感器驅(qū)動(dòng)方法已得到改進(jìn),以減少零漂移。
它是一種通過(guò)金屬密封結(jié)構(gòu)具有高氣密性的產(chǎn)品,并增加了切口接頭。

  • 提高每個(gè)流量范圍的精度
  • 適用于微流量(選項(xiàng)規(guī)格)
  • 由于無(wú)焊接結(jié)構(gòu)(VCR規(guī)格),金屬密封,泄漏低
  • 價(jià)格便宜

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

流量范圍
(N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM)
1SCCM~20SLM(任意條件選擇)
傳感器方式 熱繞組傳感器
準(zhǔn)確性 ±1%F.S.(20°C)
溫度系數(shù) 0.1%F.S./°C(15~35°C)
再現(xiàn)性 ±0.2%F.S.(20°C)內(nèi)
可工作壓力 300kPa(G)以下
耐壓 980kPa(G)
He泄漏率 1 x 10-11 Pa.m3/s以下
允許周?chē)鷾囟?/th> 0~50℃(精度保證溫度15.35°C±0.1%FS /°C)
允許環(huán)境濕度 10~90%RH(無(wú)結(jié)露)
氣體接觸材料 車(chē)身SUS316L
隔膜Ni.Co
閥座PTFE
密封材料SUS316L,Ni
電氣連接 Dsub 9針KFC 標(biāo)準(zhǔn)(符合SEMI標(biāo)準(zhǔn))
流量設(shè)定
輸入信號(hào)
0~5 VDC(最小負(fù)載電阻250kΩ以上)
所需電源 +15 VDC(±5%)100 mA,
-15 VDC(±5%)100 mA
配件(車(chē)身尺寸) 標(biāo)準(zhǔn)1/4 VCR等效
重量 約800g

警告

流量范圍附帶的規(guī)格(流量范圍,精度等)是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
有關(guān)MFC規(guī)格,請(qǐng)單獨(dú)查詢(xún)。

接線連接

Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)引腳排列

尺寸圖


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