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安全實(shí)用真空高溫烘箱

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間:2023-01-06 11:34:53瀏覽次數(shù):308次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述:安全實(shí)用真空高溫烘箱內(nèi)箱材質(zhì)為3mm厚優(yōu)質(zhì)不銹鋼拉絲板經(jīng)拋光處理,加強(qiáng)脛進(jìn)行加固。外箱材質(zhì)為1.2mm厚優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板經(jīng)表面特殊處理后靜電噴涂而成。

詳細(xì)介紹

真空高溫烘箱的必要性:
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

真空高溫烘箱一般工作流程:
首先確定工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空,待腔內(nèi)真牢度達(dá)到某一高真空度后,開始充人氮?dú)猓涞竭_(dá)到某低真空度后,冉次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程,到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后,開始保持一段時(shí)間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空,充入HMDS氣體,在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后,停止充入HMDS藥液,進(jìn)入保持階段,使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后,再次開始抽真空。充入氮?dú)?,完成整個(gè)作業(yè)過(guò)程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖:首先加熱到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS與表面的OH一反應(yīng),在硅片表而生成硅醚,消除氫鍵作,從而極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。
尾氣排放等:多余的HMDS蒸汽(尾氣)將由真空泵抽出,排放到專用廢氣收集管道。在無(wú)專用廢氣收集管道時(shí)需做專門處理。

真空高溫烘箱特點(diǎn):
美觀耐用性:內(nèi)采用SUS不銹鋼,外采用A3鋼板,噴塑處理;       
使用安全性:加厚的保溫層,良好的保溫性能,隔熱、節(jié)能;     
控制穩(wěn)定性:智能微電腦控制儀表,數(shù)字顯示,控溫精度高、準(zhǔn)確;      
高性能:巧妙的風(fēng)道設(shè)計(jì),溫度均勻度高;    
實(shí)用性:強(qiáng)力門扣加特制的密封材質(zhì),確保箱內(nèi)密封效果優(yōu)良;     
可靠性:完善的安全保護(hù)裝置,適合長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行。

真空高溫烘箱箱體結(jié)構(gòu):
1)本設(shè)備由室體、真空系統(tǒng)、保護(hù)系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)等組成
2)箱體采用*的機(jī)械設(shè)備制作、工藝*、線條流暢,美觀大方
3)內(nèi)箱材質(zhì)為3mm厚優(yōu)質(zhì)不銹鋼拉絲板經(jīng)拋光處理,加強(qiáng)脛進(jìn)行加固。外箱材質(zhì)為1.2mm厚優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板經(jīng)表面特殊處理后靜電噴涂而成。
4)門與門框之間采用高性能密封材料及的硅橡膠密封結(jié)構(gòu),密封、抗老化性好。
5)箱內(nèi)設(shè)有不銹鋼活動(dòng)樣品架,可拆卸易清洗。

關(guān)鍵詞:高溫烘箱 真空泵

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