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CS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述：CS200A系列CS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器數(shù)字式質(zhì)量流量控制器.高精度型,快響應(yīng)型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾

詳細(xì)介紹

CS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器數(shù)字式質(zhì)量流量控制器.高精度型,快響應(yīng)型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾

CS200A 數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品型號(hào)：CS200-A型
產(chǎn)品系列：CS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品類型：高精度型,快響應(yīng)型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾

型號(hào)	CS200-A
閥類型	常開(kāi)(流量規(guī)格≤30SLM) 或常閉	無(wú)
流量規(guī)格(N2)	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM
準(zhǔn)確度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
線性	±0.5% F.S.
重復(fù)精度	±0.2% F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤ 1sec
工作壓差范圍	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量規(guī)格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量規(guī)格≤50SLM	＜0.02 MPa
溫度系數(shù)	零點(diǎn): ≤±0.05% F.S/℃; 調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.1% F.S/℃ 流量規(guī)格≤30SLM; 調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.2% F.S/℃ 流量規(guī)格＞30SLM
耐壓	3MPa
漏率	1×10-10 Pa·m3 / sec He
密封材料	氟橡膠；
工作環(huán)境溫度	（5～45）℃
輸入信號(hào)	數(shù)字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	無(wú)
輸出信號(hào)	數(shù)字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
零漂	在沒(méi)有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S/年
電源	±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極)
表面化學(xué)成分	常態(tài)
表面粗糙度	25 Ra
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	雙卡套 φ6；雙卡套 1/4´´；雙卡套 3/8´´；VCR1/4´´陽(yáng)接頭；雙卡套φ3；雙卡套 1/8´´；VCO 1/4";φ6(內(nèi))x1 軟管接頭; φ5(內(nèi))x1.5 軟管接頭; φ4(內(nèi))x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm；A 型密封接頭;
電源接頭形式	D型9 針陽(yáng)接頭；D 型 15 針陽(yáng)接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭
重量	1 Kg	0.8Kg

型號(hào)	CS200-A
閥類型	常開(kāi)(流量規(guī)格≤30SLM) 或常閉	無(wú)
流量規(guī)格(N2)	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM
準(zhǔn)確度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
線性	±0.5% F.S.
重復(fù)精度	±0.2% F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤ 1sec
工作壓差范圍	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量規(guī)格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量規(guī)格≤50SLM	＜0.02 MPa
溫度系數(shù)	零點(diǎn): ≤±0.05% F.S/℃; 調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.1% F.S/℃ 流量規(guī)格≤30SLM; 調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.2% F.S/℃ 流量規(guī)格＞30SLM
耐壓	3MPa
漏率	1×10-10 Pa·m3 / sec He
密封材料	氟橡膠；
工作環(huán)境溫度	（5～45）℃
輸入信號(hào)	數(shù)字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	無(wú)
輸出信號(hào)	數(shù)字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
零漂	在沒(méi)有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S/年
電源	±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極)
表面化學(xué)成分	常態(tài)
表面粗糙度	25 Ra
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	雙卡套 φ6；雙卡套 1/4´´；雙卡套 3/8´´；VCR1/4´´陽(yáng)接頭；雙卡套φ3；雙卡套 1/8´´；VCO 1/4";φ6(內(nèi))x1 軟管接頭; φ5(內(nèi))x1.5 軟管接頭; φ4(內(nèi))x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm；A 型密封接頭;
電源接頭形式	D型9 針陽(yáng)接頭；D 型 15 針陽(yáng)接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭
重量	1 Kg	0.8Kg