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X射線光柵是非常精密的光學(xué)器件,對制作工藝的要求很高,尤其是制作高質(zhì)量的二維X射線光柵的難度更大,因此,高質(zhì)量的二維X射線光柵倍受相關(guān)科研人員的期待
X射線光柵是非常精密的光學(xué)器件,對制作工藝的要求很高,尤其是制作高質(zhì)量的二維X射線光柵的難度更大,因此,高質(zhì)量的二維X射線光柵倍受相關(guān)科研人員的期待。
■憑借的線倍頻技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)精確到5nm的X射線束聚焦
■基于電子束光刻的制造工藝,實(shí)現(xiàn)多階閃耀光柵的設(shè)計(jì)加工,光學(xué)效率高
■金剛石光學(xué)器件,輻射穩(wěn)定性高
哈特曼光柵
Hartmann wavefront sensor plates
- 2D arrays of holes for wavefront sensing
- Etched into silicon using deep reactive ion etching technology
- Possibilities for high-Z materials (Au, W)
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