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更新時(shí)間:2022-09-05 13:27:40瀏覽次數(shù):209次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線量程款,測(cè)量流速范圍廣,可帶流量控制功能。
概 述
F400系列采用溫度變化對(duì)應(yīng)于質(zhì)量流量的原理,可以對(duì)不同的氣體進(jìn)行流量測(cè)量和控制??蓱?yīng)用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍,并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響。
特 點(diǎn)
◎模擬式熱質(zhì)式流量計(jì)/流量控制器
-低單價(jià)
-環(huán)境溫度補(bǔ)正
-可應(yīng)用的流速范圍廣:
-0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
-0~1,2,3,5,10,15,20,30SLM
◎高精度
±1%(≤15SLM)
±1.5%(>15SLM)
◎可選用LF系列控制模塊,具有數(shù)位顯示、電源供應(yīng)、流量設(shè)定等功能
典型應(yīng)用
空氣、氮?dú)?、氬氣、氧氣、氦氣、二氧化碳等?
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