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原子力顯微鏡

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原子力顯微鏡 AFM 是利用測(cè)量探針與樣品之間的作用力，進(jìn)行納米級(jí)的*高精度掃描分析。除了表面形貌還可以采用不同的測(cè)量模式分析材料的其他特性。掃描范圍從20um×20um到80um×80um。可應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、汽車制造、皮革工業(yè)、造紙工業(yè)、生物學(xué)、聚合物、MEMS等我們的客戶名單上有眾多的世界杰出企業(yè)。

詳細(xì)介紹

原子力顯微鏡

原子力顯微鏡用于半導(dǎo)體行業(yè)的測(cè)量

X,Y測(cè)量范圍： 20umX20um; 40umX40um; 80umX80um

Z測(cè)量范圍： 2um 4um 6um

X,Y分辨率： 0.1nm

Z分辨率： 0.01nm

原子力顯微鏡 (AFM)通過一個(gè)微小尺寸

懸臂上的精密尖頭對(duì)樣品進(jìn)行表面掃描

尖頭和樣品表面原子間的相互作用力會(huì)使

懸臂位置發(fā)生輕微偏離，接著被壓阻

元件探測(cè)到該變化，從而被測(cè)量，基于

這個(gè)影響， AFM 可以高分辨率地測(cè)量

表面形貌及粗糙度，屬于無(wú)損測(cè)量

AFM 可以使用不同的操作模式，因此可

以用來研究更多的性能, 比如樣品的靜電

力、磁力或者彈力。

特色：

測(cè)量性能

高分辨率表面形貌測(cè)量

尖頭自動(dòng)靠近被測(cè)樣品表面

樣品表面取樣通過壓阻感應(yīng)元件

接觸測(cè)量模式、非接觸測(cè)量模式

靜電力和磁力特性的測(cè)量

measurement of electrical and magnetic properties,

側(cè)力及彈力測(cè)量 lateral forces and elasticity^*1

液態(tài)測(cè)量measurement in liquids^*2

更多操作模式可選

*1 contact mode in basic version, additional modes upon request

*2 optional

Atomic Force Microscopy

Surface Characterization表面特性

Very High Resolutions分辨率

典型應(yīng)用：

微型工業(yè)技術(shù)的質(zhì)量保證

納米亞納米級(jí)粗糙度測(cè)量

硅片及光學(xué)器件表面測(cè)量 range

生物標(biāo)本表面特征

納米結(jié)構(gòu)測(cè)量

醫(yī)學(xué)樣品表面特征研究medical samples,

e.g. protheses, catheters or stents

應(yīng)用于材料科學(xué)中檢測(cè)橡皮圈, 磁性工件等

AFM measuring head 測(cè)量頭

control unit 控制器件；傳感器安裝在電動(dòng)臺(tái)

sensor mount with motor-driven z-stage

software, operating manual 測(cè)量軟件操作手冊(cè)

關(guān)鍵詞：顯微鏡傳感器

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