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凈化型勻膠機(jī)

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更新時(shí)間：2022-12-02 15:40:23瀏覽次數(shù)：209次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)單介紹：凈化型勻膠機(jī)廣泛用于半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等，例如對(duì)大型晶圓、芯片、晶片等進(jìn)行工藝制版時(shí)，可用此設(shè)備進(jìn)行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠；是集成電路及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中涂覆勻膠的專用設(shè)備。該設(shè)備中涂膠部分含有兩個(gè)工位的勻膠臺(tái)，可分別獨(dú)立工作，也可兩臺(tái)同時(shí)工作。

詳細(xì)介紹

詳情介紹：

設(shè)備特點(diǎn)：

1、帶有100級(jí)空氣凈化裝置，可有效除去勻膠臺(tái)周圍空氣中的污染微塵，防止

勻膠過(guò)程中的雜質(zhì)污染。

2、設(shè)置有LED照明燈，可程控照明，非常方便日常操作。

3、可設(shè)置時(shí)間--轉(zhuǎn)速曲線，程序控制勻膠工藝

4、7英寸液晶顯示屏，操作簡(jiǎn)單易學(xué)無(wú)需專業(yè)學(xué)習(xí)

主要技術(shù)參數(shù)：

勻膠時(shí)間：1-99秒
勻膠轉(zhuǎn)數(shù)：0-8000轉(zhuǎn)/分
凈化效果：100級(jí)（美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)）
操作區(qū)風(fēng)速：0.3-0.5米/秒(有效操作區(qū)氣流狀態(tài)：垂直層流()
適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠
外形尺寸：650x750x1620mm
外體顏色：亞白色
控制范圍和精度：轉(zhuǎn)速控制范圍為：500-8000轉(zhuǎn)，精度為±3%
時(shí)間控制范圍為：1-99秒，精度為±5%
轉(zhuǎn)速調(diào)整：采用PID調(diào)節(jié)，精度高。
轉(zhuǎn)速查看智能化：可自動(dòng)識(shí)別哪個(gè)電機(jī)開(kāi)或關(guān)，自動(dòng)轉(zhuǎn)換到開(kāi)啟的電機(jī)上?？捎柘冗x定，也可在運(yùn)行中隨時(shí)查看任一電機(jī)的轉(zhuǎn)速。