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RTP多功能快速退火爐

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產(chǎn)品型號(hào)RTP1100-M

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更新時(shí)間：2022-09-01 16:48:43瀏覽次數(shù)：184次

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河南成儀實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

型號(hào)：RTP1100-M用途：真正的極速升溫和極速降溫規(guī)格：特點(diǎn)：

詳細(xì)介紹

快速熱處理退火爐簡(jiǎn)稱 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），由我公司借鑒了制造工藝，在管式爐的基礎(chǔ)上自主研發(fā)而成。這款不但擁有很快的升溫速率100℃/S，而且降溫速率也有了質(zhì)的飛躍，降溫速率100℃/S。我們的工程師們巧妙的設(shè)計(jì)工藝使得冷卻氣體直接對(duì)著樣品直吹，以至于達(dá)到如此快的降溫速度。真正的極速升溫和極速降溫！

此款設(shè)備采用了成儀自主研發(fā)的智能AIO（All In One）控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了爐膛自動(dòng)左右移動(dòng)，爐膛在左側(cè)加熱到設(shè)定溫度后，直接移動(dòng)到右側(cè)樣品區(qū)域，實(shí)現(xiàn)樣品快速升溫，樣品加熱到設(shè)定溫度和時(shí)間后，爐膛自動(dòng)移開(kāi)樣品加熱區(qū)，實(shí)現(xiàn)樣品的快速降溫。成儀AIO智能控制系統(tǒng)不但實(shí)現(xiàn)了真空系統(tǒng)開(kāi)啟、保護(hù)氣氛通斷以及冷卻氣體通斷的自動(dòng)協(xié)調(diào)控制，而且還能自動(dòng)平衡爐管內(nèi)的壓力大小，真正實(shí)現(xiàn)了操作方便，而且安全可靠。

功能舉例：樣品加熱到1000℃后，爐膛自動(dòng)移開(kāi)加熱區(qū)，冷卻氣體自動(dòng)打開(kāi)直吹樣品表面實(shí)現(xiàn)極速降溫，樣品溫度降到70℃時(shí)自動(dòng)關(guān)閉冷卻氣體。然后爐膛移動(dòng)到加熱區(qū)繼續(xù)加熱，如此往復(fù)，往復(fù)次數(shù)可用戶自定義。真空系統(tǒng)可根據(jù)用戶設(shè)定溫度自動(dòng)開(kāi)啟和關(guān)閉。

圖片1.png 應(yīng)用領(lǐng)域

? 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火

? 石墨烯等氣象沉積，碳納米管等外延生長(zhǎng)

? 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);

? 硅化 (Silicidation);

? 擴(kuò)散 (Diffusion);

? 離子注入后退火 (Implant Annealing);

? 電極合金化 (Contact Alloying);

? 晶向化和堅(jiān)化 (Crystallization and Densification);

主要特點(diǎn)

? 極速升溫100℃/S，極速降溫100℃/S；

? 雙層爐管結(jié)構(gòu)，氣氛與樣品接觸更均勻；

? 直接測(cè)量樣品表面溫度，測(cè)溫更精準(zhǔn)；

? 爐膛根據(jù)設(shè)置可自動(dòng)左右移動(dòng)，可以滿足更多的實(shí)驗(yàn)應(yīng)用；

? 樣品實(shí)際溫度數(shù)據(jù)可通過(guò)手機(jī)APP導(dǎo)出excel表格；

產(chǎn)品名稱	RTP多功能快速退火爐
產(chǎn)品型號(hào)	RTP1100-M
額定溫度	1100℃
溫場(chǎng)均勻性	±2℃
爐膛升溫速率	≥100℃/S
降溫速率	≥100℃/S
控溫方式	爐膛與樣品要分別控溫，兩個(gè)測(cè)溫點(diǎn)
爐膛移動(dòng)方式	根據(jù)用戶樣品設(shè)定溫度自動(dòng)左右移動(dòng)，往復(fù)次數(shù)可調(diào)節(jié)
操控系統(tǒng)	智能AIO操作系統(tǒng)
操作界面	7英寸觸摸屏
加熱方式	短波紅外線加熱
加熱腔體結(jié)構(gòu)	雙層石英管
外管直徑	100mm
內(nèi)管直徑	80mm
氣體保護(hù)方式	外管進(jìn)氣，內(nèi)管出氣
壓力保護(hù)	管內(nèi)自動(dòng)恒壓（0.8～1.2個(gè)大氣壓任意可調(diào)）
樣品冷卻	加熱后爐膛自動(dòng)移開(kāi)，冷氣打開(kāi)直吹樣品，降到設(shè)定溫度自動(dòng)關(guān)閉冷卻氣體。
冷卻氣體調(diào)節(jié)	浮子流量計(jì)(100～1000ml/min)
超溫保護(hù)	溫度出現(xiàn)過(guò)高時(shí)切斷主回路
式樣有效空間	90*100mm
真空系統(tǒng)	8L/S雙級(jí)聯(lián)真空系統(tǒng)
整機(jī)真空度	0.5Pa
真空啟動(dòng)方式	根據(jù)程序設(shè)置自動(dòng)啟停
抽氣端口尺寸	KF16
供氣口尺寸	1/4英寸雙卡套
法蘭冷卻方式	水冷（短時(shí)間無(wú)需水冷）
真空顯示	數(shù)字真空壓力表
上位機(jī)操控	基于安卓系統(tǒng)APP
數(shù)據(jù)導(dǎo)出方式	APP導(dǎo)出Excel表格
額定功率	12kw
外形尺寸	950500560mm
重量	50kg
配件	管堵2支，法蘭水冷套1支，耐溫手套1雙，坩堝鉗1把，說(shuō)明書(shū)1本。