Agilent VHS-400具有 4 英寸、6 英寸、250 mm、10 英寸和 400 mm 多種尺寸。VHS 系列擁有的凸腔設(shè)計(jì)能使氣體捕集量翻倍，并且可以保持更低的壓力。所有 VHS 系列泵都配有油位觀察窗/注油和放油組件，便于連續(xù)監(jiān)測(cè)和對(duì)泵油的維護(hù)。鰭片式加熱盤設(shè)計(jì)增大了表面積，并延長(zhǎng)了泵油的使用壽命。過熱保護(hù)開關(guān)和速冷盤管也是標(biāo)準(zhǔn)配置。4 英寸、6 英寸和 10 英寸泵可隨泵訂購(gòu) ASA 或 ISO 法蘭、標(biāo)準(zhǔn)或外延冷卻帽，還有多種電壓型號(hào)可選。

特性：

1.可達(dá)到同等高度下的極限抽速。
2.液位觀察鏡可隨時(shí)快速指示泵油的狀況。
3.泵油注排組件
4.可提供 5100 瓦高氣載型。
5.四級(jí)分餾噴嘴可純化泵油。
6.前級(jí)耐壓高。
7.過熱保護(hù)。
8.翅片加熱盤設(shè)計(jì)增大表面積，并延長(zhǎng)泵油壽命。
9.速冷盤管為標(biāo)準(zhǔn)件。
10.前級(jí)擋板防止泵油進(jìn)入前級(jí)系統(tǒng)并造成流失。

性能指標(biāo)：

抽氣速率，工作范圍抽氣速率，AVS4.1 (1963)	4500 空氣，5625 L/s 氦氣/氫氣 8000 L/s 空氣
抽氣量	在工作范圍內(nèi)為 6.3 T L/s (8.4 mbar L/s)，0.01 torr 時(shí)為 7.5 T L/s (45 mbar L/s)
操作范圍	1.4 x 10^-3 至低于 5 x 10^-9 torr（1.9 x 10^-3至低于 6.5 x 10^-9 mbar）
前級(jí)耐壓	無負(fù)載：0.65 torr (0.85 mbar) 滿載：0.55 torr (0.72 mbar)
推薦前級(jí)泵	≥ 30 cfm (51 m³/hr)
返油率，標(biāo)準(zhǔn)冷卻帽	低于 1.0 x 10^-3 mg/cm²/min
預(yù)熱時(shí)間	15 分鐘
冷卻時(shí)間	25 分鐘
注油量	1000 cc
電氣要求	3 相，50/60 Hz，208/380/480 VAC
泵功率	4400 W
冷卻水要求	0.40 gpm (80 L/hr)
連接水冷	1/8 英寸 FPT 三通