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離子泵 VacIon Plus 75離子泵

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產(chǎn)品型號(hào)Agilent VacIon Plus 75

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更新時(shí)間:2024-05-20 10:08:41瀏覽次數(shù):124次

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安捷倫的VacIonPlus離子泵系列具有適合各種抽速的Diode、NobleDiode和StarCell型號(hào)

詳細(xì)介紹

安捷倫的 VacIon Plus 離子泵系列具有適合各種抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型號(hào)。Diode Vaclon Plus 離子泵通常用于抽空電子器件的通用超高真空 (UHV) 系統(tǒng)中及高分辨電子顯微鏡中。Noble Diode Vaclon Plus 離子泵用于以恒定的壓力抽除混合氣體的超高真空應(yīng)用中,因此適合在粒子加速器、同步加速器環(huán)和表面分析應(yīng)用中提供超高真空。StarCell 的設(shè)計(jì)使其能抽除大量惰性氣體和氫氣的離子泵。該泵同樣可以高速度和大容量處理甲烷、氬氣和氦氣。StarCell Vaclon Plus 離子泵適合需要在 10 -8 mbar 或以上壓力下穩(wěn)定工作的應(yīng)用。

特性:

1.單元室采用優(yōu)化設(shè)計(jì),可限度提高排放強(qiáng)度和抽速
2.離子泵在真空狀態(tài)下運(yùn)輸
3.具有寬廣的抽速范圍(從 0.2 l/s 至 1000 l/s)
4.可提供多種泵體配置
5.聯(lián)鎖的真空密封穿導(dǎo)件連接方便,并可避免腐蝕和限度縮小泵的總體尺寸
6.三種不同的抽氣單元可抽除所有可能的氣體混合物
7.專用陶瓷絕緣子可延長(zhǎng)泵的壽命
8.提供掃描電子顯微鏡 (SEM) 型

性能指標(biāo):

技術(shù)指標(biāo):

StarCell® 改進(jìn)型二極離子泵 二極泵
氮?dú)饷x抽速 (*) (L/s) 65 68 75
在 1 x 10-6 mbar 壓力下的工作壽命(小時(shí)) 80,000 50,000 50,000
啟動(dòng)壓力 (mbar) ≤ 5x10-2 ≤ 1x10-3
極限真空 低于 10-11
抽氣口法蘭 6 英寸 CFF (NW 100) AISI 304 ESR SST
MAX烘烤溫度 (℃) 350
重量,kg(磅) 19 (42)

(*) 根據(jù) ISO/DIS 3556-1-1992 測(cè)試

抽速與進(jìn)氣口壓力關(guān)系

外形圖


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