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    杭州庚雨儀器有限公司


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    Agilent TwisTorr 84 FS 渦輪分子泵

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    產(chǎn)品型號(hào)Agilent TwisTorr 84 FS

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    更新時(shí)間:2024-05-19 10:01:02瀏覽次數(shù):115次

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    AgilentTwisTorr84FS高真空渦輪分子泵采用TwisTorr拖動(dòng)級(jí)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性

    詳細(xì)介紹

    AgilentTwisTorr84FS高真空渦輪分子泵采用TwisTorr拖動(dòng)級(jí)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr拖動(dòng)級(jí)技術(shù)能提高小分子氣體(如氫氣和氦氣)壓縮比,從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和城耐受高前級(jí)壓力,進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級(jí)泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì),變得高效節(jié)能,并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動(dòng),并能保證穩(wěn)定的軸承工作條件,從而能延長(zhǎng)工作壽命,減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間,并能確保長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性。TwisTorr84FS泵的軸承和干式潤(rùn)滑劑設(shè)計(jì),使得泵無(wú)需泵油和維護(hù),能夠以任意方向安裝??蛇x擇一體式控制器或機(jī)架控制器。
    特性:
    1.創(chuàng)新的 TwisTorr 技術(shù) — 能提高小分子氣體壓縮比,而非常小巧的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)則實(shí)現(xiàn)了高性能和小系統(tǒng)體積。
    2.耐受高前級(jí)壓力 — 允許使用更小的前級(jí)泵,從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。
    3.安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動(dòng),低噪音,穩(wěn)定的軸承工作條件,延長(zhǎng)泵的使用壽命,實(shí)現(xiàn)使用維護(hù)成本優(yōu)化,減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間,并保證長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。
    4.的軸承和干式潤(rùn)滑劑 — 免維護(hù)、免油,實(shí)現(xiàn)任意角度安裝。
    5.銅制水冷通道(可選) — 可避免腐蝕,優(yōu)化熱傳遞性能,降低用水量和使用維護(hù)成本。
    典型渦輪泵應(yīng)用:
    安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到更高性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿(mǎn)足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù),并可避免錯(cuò)誤使用。無(wú)論您是終端用戶(hù)還是原始設(shè)備制造商,安捷倫均可針對(duì)您的應(yīng)用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
    典型渦輪泵應(yīng)用
    領(lǐng)域 詳細(xì)說(shuō)明 應(yīng)用
    質(zhì)譜和分析儀器
    • 針對(duì)質(zhì)譜系統(tǒng)優(yōu)化的全系列泵和控制器
    • 具有多入口泵組的定制泵
    • 低成本、易于使用、高分析性能
    • 對(duì)于 GC/MS,提供用于相對(duì)低氣體載荷環(huán)境的 1 個(gè)真空室和用于分析無(wú)機(jī)樣品的中等真空接口
    • 對(duì)于 LC/MS,需要提供多室、高通量真空系統(tǒng)
    • 對(duì)于 ICP-MS,提供多種真空系統(tǒng),包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池
    • 對(duì)于 TOF 系統(tǒng),需要較小尺寸、高通量和高效的散熱設(shè)備
    • 質(zhì)譜
    • GC/MS
    • LC/MS
    • ICP-MS
    • TOF
    科研中的真空應(yīng)用
    • 非常清潔、可靠和高性?xún)r(jià)比的 HV 和 UHV
    • 粗真空軸承未暴露于 UHV,降低了污染
    • 高速和高壓縮
    • 可以以任意角度安裝
    • 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
    • 高能物理
    • 融合技術(shù)
    • 一般 UHV 研究
    • 同步光源粒子加速器
    工業(yè)真空加工
    • 為薄膜沉積應(yīng)用而專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的集成分子泵解決方案
    • 適用于原始設(shè)備制造商和終端用戶(hù)的專(zhuān)業(yè)性能
    • 適用于具有預(yù)真空鎖或大型內(nèi)聯(lián)連續(xù)系統(tǒng)的單室批量系統(tǒng)和多室系統(tǒng)的泵

    薄膜沉積:

    • 玻璃涂層設(shè)備(建筑和汽車(chē)玻璃,平板顯示器)
    • 薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)(光電)
    • 光學(xué)數(shù)據(jù)介質(zhì)(CD、DVD、磁光光盤(pán))
    • 磁性存儲(chǔ)介質(zhì)
    • 表面處理
    • 光學(xué)涂層(眼科、精密光電)
    • 膜或箔上的輥式/卷繞涂覆

    設(shè)備加工:

    • 生產(chǎn)電視機(jī)和顯示器顯像管
    • 疏散燈(高速公路照明、投影機(jī))
    • X 射線(xiàn)管和電子設(shè)備

    一般工藝:

    • 真空爐/冶金
    納米技術(shù)儀器
    • 分析從有機(jī)化合物到半導(dǎo)體晶片等各類(lèi)物質(zhì)
    • 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴(yán)苛的 SEM、TEM 和表面分析系統(tǒng)
    • 低振動(dòng)渦旋泵適用于敏感的顯微分析
    • 可快速、無(wú)油式排空大型樣品室內(nèi)的氣體
    • 集成的泵控制器可靈活進(jìn)行控制,幾乎不生成電磁噪音
    • 非常適合為半導(dǎo)體生產(chǎn)創(chuàng)造合適環(huán)境
    • 高轉(zhuǎn)速確保能夠以高泵速抽空半導(dǎo)體生產(chǎn)中釋放的輕質(zhì)氣體(He、H)
    • 符合高速循環(huán)應(yīng)用的嚴(yán)格要求,例如真空裝載鎖
    • 通過(guò)對(duì)多個(gè)渦旋泵聯(lián)用一個(gè)前級(jí)泵,可提高工具的可靠性
    • 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
    • 安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設(shè)備放置于遠(yuǎn)處
    • 電子顯微鏡(SEM、TEM)
    • 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB)
    • 表面分析
    • 半導(dǎo)體制造

    技術(shù)規(guī)格

    抽速:
    CFF 4.5 英寸或 ISO 63 配置:CFF 2.75 英寸 配置:KF 40 配置:

    N2:67 L/s
    N2:56 L/s
    N2:49 L/s

    He:63 L/s/
    He:46 L/s
    He:38 L/s/

    H2:53 L/s
    H2:40 L/s
    H2:36 L/s

    Ar:66 L/s
    Ar:57 L/s
    Ar:44 L/s
    全轉(zhuǎn)速氣體流量(使用推薦的前級(jí)泵)
    風(fēng)冷 (35 °C)
    水冷 (25 °C, 65 L/h)
    N2:100 sccm
    N2:100 sccm
    Ar:70 sccm
    Ar:70 sccm
    壓縮比: N2:≥ 1 × 1011 He:2 × 106 H2:5 × 104 Ar:> 1 × 1011
    極限真空*(使用推薦的前級(jí)泵) < 5 x 10-10 mbar (< 3.75 x 10-10 Torr)
    入口法蘭 CF 4.5 英寸(外徑)
    CF 2.75 英寸(外徑)
    ISO 63
    KF40
    前級(jí)管道法蘭 KF 16 NW
    轉(zhuǎn)速 81000 rpm(驅(qū)動(dòng)頻率 1350 Hz)
    啟動(dòng)時(shí)間 < 2 分鐘
    推薦的前級(jí)泵 機(jī)械:DS 40M-DS 102
    干式泵:Agilent IDP-3,SH 110
    工作位置 任意位置
    操作環(huán)境溫度 +5 °C 至 +35 °C
    空氣相對(duì)濕度 0 至 90%(非凝縮)
    烘烤溫度
    入口法蘭溫度 120 °C(CFF 法蘭)
    入口法蘭溫度 80 ℃(ISO 法蘭)
    潤(rùn)滑油
    性潤(rùn)滑
    冷卻要求 風(fēng)冷:
    水冷:
    氣流溫度 +5 °C 至 +35 °C
    冷卻水溫度:+15 °C 至 +25 °C

    流速:65 L/h (0.30 GPM)

    壓力:2 至 4 bar(45 至 75 psi)
    噪音壓力級(jí)別(全速運(yùn)行時(shí)距離 1 m 處) 40 dB(A) *
    儲(chǔ)存溫度 -40 °C 至 +70 °C
    海拔 3000 m
    認(rèn)證 CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求
    重量 kg(磅):
    泵 ISO 63:
    2.5 (5.5)
    泵 CFF 4.5 英寸:
    3.5 (7.7)
    泵 CFF 2.75 英寸:
    3.34 (7.35)
    泵 KF 40:
    2.37 (5.22)

    * 平均值 ± 4 dB(A) 標(biāo)準(zhǔn)差


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