簡(jiǎn)介 :
Leica EM ACE600是優(yōu)良的多用途高真空薄膜沉積系統(tǒng),設(shè)計(jì)來(lái)根據(jù)您的FE-SEM和TEM應(yīng)用的需要生產(chǎn)非常薄的,細(xì)粒度的和導(dǎo)電的金屬和碳涂層,用于**分辨率分析。
這種高真空鍍膜機(jī)可以通過(guò)以下方法進(jìn)行配置:濺射、碳絲蒸發(fā)、碳棒蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)和輝光放電。
適用于Leica EM ACE600高真空鍍膜機(jī)的Leica EM VCT真空冷凍傳輸系統(tǒng),是無(wú)污染的低溫掃描電鏡樣本制備的理想解決方案。
適用于廣泛應(yīng)用的高真空鍍膜系統(tǒng)
EM ACE600 濺射鍍膜機(jī)配備可配置的金屬處理室,非常靈活,可以適應(yīng)廣泛的應(yīng)用。通過(guò)在單個(gè)制備過(guò)程中運(yùn)行多達(dá)兩個(gè)不同的源,甚至為高級(jí)冷凍工作流程配置 EM ACE600,實(shí)現(xiàn)您的工作流程目標(biāo)并滿足您實(shí)驗(yàn)室的需求。
l 對(duì)平面或結(jié)構(gòu)化的非導(dǎo)電樣品進(jìn)行高分辨率成像
l 增強(qiáng)納米級(jí)結(jié)構(gòu)的對(duì)比度,例如蛋白質(zhì)或 DNA 鏈
l 為 TEM 網(wǎng)格生產(chǎn)薄而堅(jiān)固的支撐層或
l 為敏感樣品提供保護(hù)層
l 擴(kuò)展冷凍應(yīng)用系統(tǒng)
具有濺射涂層的可重現(xiàn)的高質(zhì)量薄膜
使用 EM ACE600 高真空鍍膜系統(tǒng),每次運(yùn)行都能始終如一地生產(chǎn)出高質(zhì)量的濺射鍍膜薄膜。憑借基于的自動(dòng)化濺射鍍膜工藝,滿足您鍍膜需求的正確條件并獲得可重復(fù)的結(jié)果。
執(zhí)行高達(dá) 200kX 及更高倍率的高倍 SEM 分析,具有 <2x10-6 mbar 的出色基礎(chǔ)真空和一系列濺射靶材的精細(xì)平衡工藝參數(shù)。根據(jù)樣品形態(tài)的需要調(diào)整樣品距離和涂層角度。
為了進(jìn)一步提高鍍膜效果,您可以使用Meissner trap將真空增加到 10-7 毫巴范圍,然后嘗試濺射靶材或?qū)ρ鯕饷舾械臉悠凡牧稀?/p>
具有碳涂層的可重復(fù)的高質(zhì)量薄膜
使用 EM ACE600,您可以通過(guò)使用碳螺紋涂層、碳棒涂層或電子束蒸發(fā)來(lái)生產(chǎn)高質(zhì)量的碳膜。
碳絲蒸發(fā)已成為一種廣泛使用的方法
Leica Microsystems 開(kāi)發(fā)了的自適應(yīng)脈沖方法,應(yīng)用于 EM ACE600。它可以生產(chǎn)亞納米厚度的**、堅(jiān)固和非晶薄膜,同時(shí)**限度地減少對(duì)樣品的熱影響。無(wú)論您是需要納米級(jí)薄、堅(jiān)固且清潔的 TEM 支撐層、擴(kuò)散(保護(hù))涂層,還是大型均質(zhì)碳層,碳線都是正確的選擇。
對(duì)于專用應(yīng)用,例如旋轉(zhuǎn)陰影,您可以使用電子束蒸發(fā)器。其光束發(fā)散角小,非常適合用于陰影涂層,以增強(qiáng)納米級(jí)結(jié)構(gòu)的邊緣對(duì)比度。
根據(jù)您的需求調(diào)整 EM ACE600
由于 EM ACE600 的大型可配置金屬處理室,可以在不破壞真空的情況下在一臺(tái)涂布機(jī)中運(yùn)行多個(gè)工藝。同時(shí),將濺射頭與的碳絲蒸發(fā)器相結(jié)合,或選擇兩個(gè)濺射源,在單個(gè)制備過(guò)程中實(shí)現(xiàn)多層金屬涂層。
l 得益于優(yōu)化的雙源概念,帶有兩個(gè)傾斜端口和一個(gè)旋轉(zhuǎn)載物臺(tái),在整個(gè) 100 mm 載物臺(tái)上生產(chǎn)均勻分布的薄膜
l 從堅(jiān)固的碳線、電子束和濺射鍍膜機(jī)源中選擇
l 為您的 EM ACE600 配備輝光放電濺射
l 可隨時(shí)現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)
專注于準(zhǔn)備過(guò)程的關(guān)鍵部分
使用 EM ACE600 碳和濺射鍍膜機(jī),只需按一個(gè)按鈕即可完成您的常規(guī)樣品制備。簡(jiǎn)單可靠的工作流程和方便的標(biāo)準(zhǔn)操作程序使您能夠?qū)W⒂?EM 樣品制備的關(guān)鍵部分。您可以專注于優(yōu)化您的工作流程,減少學(xué)習(xí)如何操作系統(tǒng)或培訓(xùn)他人如何使用系統(tǒng)的時(shí)間。
l 通過(guò)前門安全裝載和卸載敏感樣品
l 基于工作流的用戶界面和對(duì)相關(guān)參數(shù)的快速訪問(wèn)指導(dǎo)方式
l 重量輕、堅(jiān)固耐用的光源,便于日常處理