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MDPmap 晶圓片壽命檢測(cè)儀

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更新時(shí)間：2024-04-29 10:03:45瀏覽次數(shù)：122次

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Mono-andMulti-crystallinewaferlifetimemeasurementdevice應(yīng)用范圍：用于精密材料研發(fā)的單晶和多晶片的壽命測(cè)量特性靈敏度：外延片不可見(jiàn)的缺陷和檢測(cè)的靈敏度的可視化測(cè)量速度：6英寸硅晶圓片

詳細(xì)介紹

應(yīng)用范圍：用于精密材料研發(fā)的單晶和多晶片的壽命測(cè)量

MDPmap是一個(gè)緊湊的臺(tái)式無(wú)觸點(diǎn)電子特性的離線(xiàn)生產(chǎn)控制或研發(fā)的工具。可測(cè)量參數(shù)如載流子壽命、光電導(dǎo)性、電阻率、缺陷信息在穩(wěn)態(tài)或注入范圍寬短脈沖勵(lì)磁(μ-PCD)。自動(dòng)化的樣品識(shí)別和參數(shù)設(shè)置可以方便地適應(yīng)各種不同的樣品，包括在不同的制備階段，從生長(zhǎng)的晶圓片到高達(dá)95%的金屬化晶圓片的外延片和晶圓片。
MDPmap的主要優(yōu)點(diǎn)是其高度的靈活性，它允許集成最多4個(gè)激光器，用于從超低注入到高注入的依賴(lài)于注入水平的壽命測(cè)量，或者使用不同的激光波長(zhǎng)提取深度信息。包括偏置光設(shè)施以及μ-PCD或穩(wěn)態(tài)注入條件的選項(xiàng)。可以使用不同的圖進(jìn)行客戶(hù)定義的計(jì)算，也可以導(dǎo)出原始數(shù)據(jù)進(jìn)行進(jìn)一步的評(píng)估。對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量任務(wù)，可用一個(gè)預(yù)定義的標(biāo)準(zhǔn)，使常規(guī)測(cè)量只需按一個(gè)按鈕。