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MDPlinescan在線少子壽命測試儀

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更新時間：2024-04-02 17:47:08瀏覽次數(shù)：102次

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束蘊儀器（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡介

靈活的OEM少子壽命測試儀器，用于各種不同樣品的少子壽命測量，從單晶硅磚到多晶硅磚，從生長的硅片到不同層或金屬化的硅片的過程控制。標(biāo)準(zhǔn)的軟件接口，便于連接到許多處理或自動化系統(tǒng)。

詳細(xì)介紹

在眾多的少子壽命測量方法中，MDP（微波檢測光電導(dǎo)率）采用改進的少子壽命檢測技術(shù)，是微波檢測光電導(dǎo)衰減法檢測儀中常用的儀器之一，少子壽命測試儀原理從載流子輸運原理出發(fā)，建立廣義速率方程和偏微分方程系統(tǒng)。擁有的靈敏度和分辨率，很大程度提升在線檢測的速度和質(zhì)量，快速出具少子壽命測試的實驗報告。

MDPlinescan被設(shè)計成一個易于集成的OEM設(shè)備，可以集成到各種自動化檢測線。關(guān)鍵的是在傳送過程中進行少子壽命掃描。樣品通常由測量頭下面的傳送帶或機器人系統(tǒng)攜帶。應(yīng)用實例包括從晶磚到晶圓檢測，單晶少子壽命測試、多晶少子壽命測試，每塊晶圓的測量速度小于一秒。電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是經(jīng)典的通用案例，也用于鈍化和擴散后的工藝質(zhì)量檢查，還有許多其他特殊的應(yīng)用的可能性。易于集成，只需要以太網(wǎng)連接和電源。

MDPlinescan W

包括一個額外的電阻率測量選項。

優(yōu)點：

◇ 在µ-PCD或穩(wěn)態(tài)激勵條件下線掃描少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個小型設(shè)備的重要功能；

◇ OEM設(shè)備可以集成到多晶或單晶硅片的生產(chǎn)線上，在不同的制備階段，直至器件、磚塊或晶錠。

◇ 小巧的尺寸和標(biāo)準(zhǔn)的自動化接口使其易于集成。重點是測量結(jié)果的長期可靠性和精確性。

示范性線狀掃描圖

細(xì)節(jié)：

◇ 允許單晶圓片調(diào)查

◇ 不同的晶圓級有不同的配方

◇ 監(jiān)控物料、工藝質(zhì)量和穩(wěn)定性

技術(shù)規(guī)格:

樣品	多種尺寸的多晶或單晶晶片，如156mm×156mm、晶磚、電池片等
樣品尺寸	50 x 50 mm2以上
電阻率	0.2 - 103Ω·cm
電導(dǎo)類型	P,N
樣品類型	硅片、部分或加工的硅片、化合物半導(dǎo)體及更多的產(chǎn)品
可測量的特性	少數(shù)載流子壽命
硬件接口	以太網(wǎng)
尺寸規(guī)格	體積：174 x 107 x 205mm；重量：3公斤
電源	24 V DC, 2 A