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行業(yè)產(chǎn)品

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束蘊(yùn)儀器(上海)有限公司


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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

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更新時(shí)間:2024-04-02 17:47:08瀏覽次數(shù):101次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

靈活的OEM少子壽命測(cè)試儀器,用于各種不同樣品的少子壽命測(cè)量,從單晶硅磚到多晶硅磚,從生長(zhǎng)的硅片到不同層或金屬化的硅片的過(guò)程控制。標(biāo)準(zhǔn)的軟件接口,便于連接到許多處理或自動(dòng)化系統(tǒng)。

詳細(xì)介紹

在眾多的少子壽命測(cè)量方法中,MDP(微波檢測(cè)光電導(dǎo)率)采用改進(jìn)的少子壽命檢測(cè)技術(shù),是微波檢測(cè)光電導(dǎo)衰減法檢測(cè)儀中常用的儀器之一,少子壽命測(cè)試儀原理從載流子輸運(yùn)原理出發(fā),建立廣義速率方程和偏微分方程系統(tǒng)。擁有的靈敏度和分辨率,很大程度提升在線檢測(cè)的速度和質(zhì)量,快速出具少子壽命測(cè)試的實(shí)驗(yàn)報(bào)告。
       

       

MDPlinescan被設(shè)計(jì)成一個(gè)易于集成的OEM設(shè)備,可以集成到各種自動(dòng)化檢測(cè)線。關(guān)鍵的是在傳送過(guò)程中進(jìn)行少子壽命掃描。樣品通常由測(cè)量頭下面的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)攜帶。應(yīng)用實(shí)例包括從晶磚到晶圓檢測(cè),單晶少子壽命測(cè)試、多晶少子壽命測(cè)試,每塊晶圓的測(cè)量速度小于一秒。電池生產(chǎn)線上的來(lái)料質(zhì)量檢查是經(jīng)典的通用案例,也用于鈍化和擴(kuò)散后的工藝質(zhì)量檢查,還有許多其他特殊的應(yīng)用的可能性。易于集成,只需要以太網(wǎng)連接和電源。
 

MDPlinescan W       

包括一個(gè)額外的電阻率測(cè)量選項(xiàng)。        

       


       

優(yōu)點(diǎn):         

◇  在µ-PCD或穩(wěn)態(tài)激勵(lì)條件下線掃描少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個(gè)小型設(shè)備的重要功能;        

◇  OEM設(shè)備可以集成到多晶或單晶硅片的生產(chǎn)線上,在不同的制備階段,直至器件、磚塊或晶錠。        

◇  小巧的尺寸和標(biāo)準(zhǔn)的自動(dòng)化接口使其易于集成。重點(diǎn)是測(cè)量結(jié)果的長(zhǎng)期可靠性和精確性。        


       

        示范性線狀掃描圖        

      

細(xì)節(jié):                  

◇  允許單晶圓片調(diào)查                 

◇  不同的晶圓級(jí)有不同的配方        

◇  監(jiān)控物料、工藝質(zhì)量和穩(wěn)定性     


技術(shù)規(guī)格:    


樣品

多種尺寸的多晶或單晶晶片,如156mm×156mm、晶磚、電池片等

樣品尺寸

50 x 50 mm2以上

電阻率

0.2 - 103Ω·cm

電導(dǎo)類型

P,N

樣品類型

硅片、部分或加工的硅片、化合物半導(dǎo)體及更多的產(chǎn)品

可測(cè)量的特性

少數(shù)載流子壽命

硬件接口

以太網(wǎng)

尺寸規(guī)格

體積:174 x 107   x 205mm;重量:3公斤

電源

24 V DC, 2 A


關(guān)鍵詞:電池

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