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AX10FA模擬型直接熱式質(zhì)量流量計(jì) AX10FA直接熱式質(zhì)量流量計(jì)

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AX10FA模擬型直接熱式質(zhì)量流量計(jì)AX10FA直接熱式質(zhì)量流量計(jì)控制器AX10FA直接熱式MFC/MFM采用熱式測(cè)量原理，直接用兩支快速反應(yīng)的鎧裝傳感器測(cè)量氣體流量

詳細(xì)介紹

AX10FA模擬型直接熱式質(zhì)量流量計(jì) AX10FA直接熱式質(zhì)量流量計(jì)控制器

AX10FA直接熱式MFC/MFM采用熱式測(cè)量原理，直接用兩支快速反應(yīng)的鎧裝傳感器測(cè)量氣體流量。由于沒有層流元件，并采用哈氏合金傳感器，
AX10FA可用于易結(jié)晶和腐蝕性的氣體測(cè)量。對(duì)低壓管道或者壓力損失小的應(yīng)用，
AX10FA也同樣適用。
AX10FA直接熱式MFC/MFM與其它差壓原理的V10FC一樣，具有三路流量/壓力/溫度顯示和輸出功能。

產(chǎn)品應(yīng)用

產(chǎn)品主要用于真空,鍍膜,石油化工,煤炭冶金,制氣配氣,***及各種分析,科研院所實(shí)驗(yàn)設(shè)備。

產(chǎn)品特點(diǎn)

● 直接熱式原理，無層流元件
● 無壓損,抗結(jié)晶,抗腐蝕
● 適用于各種低壓和高壓管道
● 精確測(cè)量和控制氣體的質(zhì)量流量
● 預(yù)熱時(shí)間短,零漂小，可靠性高
● 多種氣體可選,也可自行輸入

技術(shù)參數(shù)

技術(shù)指標(biāo) AX10FA-RC質(zhì)量流量控制器 AX10FA-RM質(zhì)量流量控制器
量程范圍小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～2000SLM
控制范圍控制器20：1 流量計(jì)20：1

準(zhǔn) 確度流量：±3%F.S 壓力：0.5% F.S 溫度：±1℃

線性 ±0.5%F.S
重復(fù)精度 ±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間 100ms 10ms
數(shù) 字量 RS232/485，MODBUS協(xié)議

模擬量 0～5V、4～20mA、1～5V

供電 12V/24V/±15V可選

工作溫度 0～50℃
工作壓力工作壓差：0.03～0.5MPa 工作壓降：<0.01Mpa
耐壓低壓1MPa，中壓3MPa，高壓10MPa

電氣連接 DB15孔

漏率 1×10-9SccsHe

溫度系數(shù) ±0.015%F.S/℃

底座材質(zhì) 316L

密封材料氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠

接頭 VCR1/4;swagelokφ6