多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)--GSL-LCD(控制面板為觸摸屏）水冷系統(tǒng)

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更新時(shí)間：2023-07-30 09:57:23瀏覽次數(shù)：281次

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產(chǎn)品分類 品牌分類

  混氣系統(tǒng)

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沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)--GSL-LCD(控制面板為觸摸屏）

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：GSL-LCD是一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里，移動(dòng)柜可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)，可將管式爐置于移動(dòng)柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的觸摸屏上，同時(shí)可以實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。

產(chǎn)品型號(hào)	GSL-LCD(控制面板為觸摸屏）
技術(shù)參數(shù)	功能	雙通道	三通道	四通道	五通道
	質(zhì)子流量控制器	工作溫度：5~45ºC 壓力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 線性: ±（0.5-1.5）%F.S.重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路:1~199 SCCM 二路:1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用	工作溫度：5~45 ºC 壓力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 線性: ±（0.5-1.5）%F.S. 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用	工作溫度: 5~45 ºC 壓力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 線性: ±（0.5-1.5）%F.S.重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用	工作溫度: 5~45 ºC 壓力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 線性: ±（0.5-1.5）%F.S. 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 五-九路可按照客戶要求定制
產(chǎn)品規(guī)格	外形尺寸：600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
輸入電源	AC 220V/50Hz單相
功率	23W
PLC觸摸屏	各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一6"的觸摸屏上 RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進(jìn)行遠(yuǎn)程控制
機(jī)械壓力表	有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
針閥	316 不銹鋼
通氣管道	內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管外部通氣管道為1/4”聚四氟管
混氣罐	Φ80X120mm
截止閥及配件	316不銹鋼針閥 Φ1/4” 不銹鋼管