評(píng)定參數(shù)
評(píng)定參數(shù)	Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2
測(cè)量范圍
Z軸	800μm
X軸	50mm
直線度精度
直線度精度	0.4μm
分辨率（Z軸）
分辨率（Z軸）	0.001μm
采樣數(shù)/分解能
采樣數(shù)/分解能	9600點(diǎn)/16bit
濾波器
濾波器	高斯(Gaussian)濾波器（ISO11562:1996），2RC濾波器
取樣長(zhǎng)度
取樣長(zhǎng)度	λc ╳3、4、5、6、7（1.0-17.5mm）
截止波長(zhǎng)
截止波長(zhǎng)	0.25,0.8,2.5
測(cè)量速度
測(cè)量速度	0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s
返回速度
返回速度	（自動(dòng)） 1mm/s
示值誤差
示值誤差	±5%
示值穩(wěn)定性
示值穩(wěn)定性	3%
測(cè)量重復(fù)性
測(cè)量重復(fù)性	3%
圖形放大倍率
圖形放大倍率	10-500000自動(dòng)調(diào)整
傳感器
傳感器	針尖 R=2μm鉆石（測(cè)量力1mN）
	R=5μm鉆石(測(cè)量力4mN）

關(guān)鍵詞：電源IC

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