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MCL雙軸納米位移臺

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產(chǎn)品簡介

Nano-PDQ 系列納米定位平臺是高速精密多軸壓電納米定位系統(tǒng)。Nano-PDQ 系列占地面積小,中心孔徑大,同時還具有快速響應(yīng)和亞納米級精度。Nano-PDQ 系列納米定位平臺非常適合需要高掃描速率或大負(fù)載能力的應(yīng)用。Nano-PDQ 系列具有最多三個軸的平行、非耦合運動,以及集成的位置傳感器,利用MCL專有的 PicoQ® 技術(shù)在閉環(huán)控制下提供、可重復(fù)的位置測量和亞納米級精度。

詳細(xì)介紹

XY兩軸壓電納米定位平臺多種型號可選,快速響應(yīng),亞納米精度

自上個世紀(jì)九十年代開始Mad City Labs, Inc MCL)一直是亞納米定位分辨率領(lǐng)域的二軸納米定位平臺MCL的設(shè)計商,制造商。MCLMCL雙軸納米位移臺產(chǎn)品線涵蓋了多個行程,多種不同的負(fù)重能力,能滿足客戶的不同應(yīng)用需求。

Nano-Bio系列二軸納米定位平臺MCL

Nano-Bio系列二軸納米定位平臺MCL是超扁平雙軸壓電納米定位系統(tǒng)。扁平的設(shè)計使 Nano-Bio系列二維納米定位平臺能夠輕松集成到現(xiàn)有的倒置顯微鏡、原子力顯微鏡和其他空間有限的儀器中。大中心孔徑使 Nano-Bio二維納米定位平臺能夠適應(yīng)所有主要顯微鏡制造商的鏡頭。Nano-Bio 系列二軸納米定位平臺MCL包括采用 PicoQ® 技術(shù)的內(nèi)部位置傳感器,可在閉環(huán)反饋控制下提供、可重復(fù)的位置測量和皮米精度。Nano-Bio100、Nano-Bio200 Nano-Bio300 由鋁制成,是光學(xué)顯微鏡的理想選擇。Nano-Bio2M 熱穩(wěn)定性更高,整體尺寸更小。


主要應(yīng)用:

-光學(xué)顯微鏡,易于改裝

-熒光成像

-閉環(huán)原子力顯微鏡(AFM)掃描儀

-納米光刻技術(shù)

-光學(xué)鑷子

-超分辨率顯微鏡


Nano-Bio系列二軸納米定位平臺MCL規(guī)格參數(shù)         

型號

Nano-Bio2M

Nano-Bio100

Nano-Bio200

Nano-Bio300

行程

50*50 um

100*100 um

200*200 um

300*300 um

分辨率

0.1 nm

0.2 nm

0.4 nm

0.6 nm

共振頻率(X軸)

500 Hz ±20%

450Hz ±20%

400Hz ±20%

260Hz ±20%

共振頻率(Y軸)

400 Hz ±20%

350Hz ±20%

300Hz ±20%

200Hz ±20%

θroll , θpitch(typical)

1 µrad

θyaw (typical)

3 µrad

剛度

1.0 N/µm

負(fù)載(橫向)

0.5 kg

負(fù)載(縱向)

.0.2 kg

材質(zhì)

鋁、殷鋼或鈦

Nano-Bio系列二軸納米定位平臺MCL


Nano-PDQ系列納米定位平臺:

Nano-PDQ 系列納米定位平臺是高速精密多軸壓電納米定位系統(tǒng)。Nano-PDQ 系列占地面積小,中心孔徑大,同時還具有快速響應(yīng)和亞納米級精度。Nano-PDQ 系列納米定位平臺非常適合需要高掃描速率或大負(fù)載能力的應(yīng)用。Nano-PDQ 系列具有最多三個軸的平行、非耦合運動,以及集成的位置傳感器,利用MCL專有的 PicoQ® 技術(shù)在閉環(huán)控制下提供、可重復(fù)的位置測量和亞納米級精度。


主要應(yīng)用:

-快速多軸掃描

-光陷阱校準(zhǔn)

-粒子跟蹤


Nano-PDQ系列納米定位平臺規(guī)格參數(shù):         

型號

Nano-FDQ250

Nano-FDQ350

Nano-FDQ275

Nano-FDQ375

X軸行程

50 um

50

75

75

Y軸行程

50 um

50

75

75

Z軸行程

/

50

/

50

分辨率

0.1 nm

0.1 nm

0.15 nm

0.15 nm

X軸共振頻率

1080 Hz ±20%

Y軸共振頻率

840 Hz ±20%

Z軸共振頻率

265 Hz ±20%

掃描速度

到400 Hz

θpitch(typical)

≤1 µrad

θroll(typical)

≤1 µrad

θyaw (typical)

≤3 µrad

剛度

3.0 N/µm

負(fù)載(橫向)

0.5 Kg

負(fù)載(縱向)

0.2 Kg

材質(zhì)

鋁、殷鋼或鈦

Nano-PDQ納米定位平臺


Nano-PDQ系列多軸納米定位平臺:

Nano-MET2二維納米定位平臺和 Nano-MET3 是超低噪聲、高精度壓電納米定位系統(tǒng),具有皮米定位分辨率。內(nèi)部位置傳感器采用MCL PicoQ® 技術(shù),可在閉環(huán)控制下提供、可重復(fù)的位置測量,是要求苛刻的計量應(yīng)用的理想之選??商峁┛量淘恿︼@微鏡應(yīng)用所需的超快響應(yīng)。


主要應(yīng)用:

-高速、高分辨率定位

-測量

-AFM

-SPM


Nano-MET系列多軸納米定位平臺規(guī)格參數(shù):         

型號

Nano-MET2

Nano-MET3

XY軸行程

75 um

75 um

Z軸行程

/

5 um

XY軸分辨率

0.15 nm

Z軸分辨率

0.005 nm

XY軸共振頻率(MET2)

1.4 kHz

XY軸共振頻率(MET3)

1.0 kHz

Z軸共振頻率(MET3)

13.5 kHz

負(fù)載(橫向)

100 g

負(fù)載(縱向)

100 g

材質(zhì)

Nano-MET系列多軸納米定位平臺


Nano-BioS系列MCL雙軸納米位移臺:

與廣受歡迎的 Nano-Bio 系列一樣,新型 Nano-BioS 系列MCL雙軸納米位移臺也是超扁平雙軸壓電納米定位系統(tǒng),可輕松集成到現(xiàn)有的倒置顯微鏡、原子力顯微鏡和其他空間有限的儀器中。Nano-BioSMCL雙軸納米位移臺具有較大的矩形中心孔,可容納用于標(biāo)準(zhǔn) 3 英寸載玻片和其他類似尺寸生物樣品(如 Lab-Tek 載玻片)的重入式樣品架。Nano-BioS 系列二維納米定位平臺包括采用 Mad City Labs MCLPicoQ® 技術(shù)的內(nèi)部位置傳感器,可在閉環(huán)反饋控制下提供、可重復(fù)的位置測量和皮米分辨率。Nano-BioSMCL雙軸納米位移臺由陽極氧化鋁制成,提供三種運動范圍: 100微米、200微米和300微米。


主要應(yīng)用:

-孔徑大小適合 3 英寸玻片

-光學(xué)顯微鏡,易于改裝

-熒光成像

-閉環(huán)原子力顯微鏡(AFM)掃描儀

-納米光刻技術(shù)

-光學(xué)鑷子

-超分辨率顯微鏡


Nano-BioS系列MCL雙軸納米位移臺規(guī)格參數(shù)         

型號

Nano-BioS100

Nano-BioS200

Nano-BioS300

行程

100*100 um

200*200 um

300*300 um

分辨率

0.2 nm

0.4 nm

0.6 nm

共振頻率(X軸)

400Hz ±20%

350Hz ±20%

300Hz ±20%

共振頻率(Y軸)

280Hz ±20%

230Hz ±20%

180Hz ±20%

剛度

1.0 N/µm

θroll , θpitch(typical)

1 µrad

θyaw (typical)

3 µrad

負(fù)載(橫向)

0.5 kg

負(fù)載(縱向)

0.2 kg

材質(zhì)

鋁、殷鋼或鈦

Nano-BioS系列MCL雙軸納米位移臺


Nano-H系列XY軸納米壓電定位平臺:

Nano-H 系列XY軸納米壓電定位平臺是一款結(jié)構(gòu)緊湊的雙軸壓電納米定位平臺,以經(jīng)濟(jì)實惠的價格提供的定位性能。大中心孔徑使 Nano-H 系列XY軸納米壓電定位平臺非常適合需要透射光束的應(yīng)用,或安裝大體積組件(如多根光纖、光學(xué)器件和計量探頭)的應(yīng)用。內(nèi)部位置傳感器采用 PicoQ® 技術(shù),與 Nano-Drive® 控制器配合使用時,可提供、可重復(fù)的位置測量和皮米精度。Nano-H 系列XY軸納米壓電定位平臺有多種材質(zhì)可供選擇,包括鋁、鈦或英鋼。


主要應(yīng)用:

-光學(xué)顯微鏡

-AFM

-熒光成像

-光學(xué)


Nano-H系列XY軸納米壓電定位平臺規(guī)格參數(shù)         

型號

Nano-H100

Nano-H50

行程

100*100 um

50*50 um

分辨率

0.2 nm

0.1 nm

共振頻率(X軸)

500 Hz ±20%

共振頻率(Y軸)

.250 Hz ±20%

剛度

1.0 N/µm

θroll , θpitch(typical)

1 µrad

θyaw (typical)

3 µrad

負(fù)載(橫向)

0.5 kg

負(fù)載(橫向)

0.2 kg

材質(zhì)

鋁、殷鋼或鈦

Nano-H系列XY軸納米壓電定位平臺


Nano-T系列雙軸納米定位器,:

Nano-T 系列雙軸納米定位器,是經(jīng)濟(jì)型多軸壓電納米定位系統(tǒng),有多種配置可供選擇。Nano-T 系列在 X Y 軸上的運動范圍可達(dá) 200 微米,在 Z 軸上的運動范圍可達(dá) 50 微米。內(nèi)部位置傳感器采用專有的 PicoQ® 技術(shù),在閉環(huán)控制下提供、可重復(fù)的位置測量和皮米精度。Nano-T 系列雙軸納米定位器,非常適合需要精確壓電納米定位,但整個平臺高度并不重要的應(yīng)用。如果需要超薄系統(tǒng),則應(yīng)考慮Mad City Labs Nano-Bio2 Nano-LP系列。


主要應(yīng)用:

-多軸校準(zhǔn)

-熒光成像

-閉環(huán)原子力顯微鏡(AFM)掃描儀

-超分辨率顯微鏡


Nano-T系列雙軸納米定位器,規(guī)格參數(shù)         

型號

Nano-T11

Nano-T22

Nano-T112

Nano-T115

Nano-T22

2

Nano-T22

5

行程(XY

100 um

200 um

100 um

100 um

200 um

200 um

行程(Z

/

/

20um

50um

20um

50um

分辨率(X,Y

0.2 nm

0.4 nm

0.2 nm

0.2 nm

0.4 nm

0.4 nm

分辨率(Z

/

/

0.04 nm

0.1 nm

0.04 nm

0.1 nm

共振頻率(X軸)

450Hz ±20%

400Hz ±20%

450Hz ±20%

450Hz ±20%

400Hz ±20%

400Hz ±20%

共振頻率(Y軸)

250Hz ±20%

200Hz ±20%

250Hz ±20%

250Hz ±20%

200Hz ±20%

200Hz ±20%

共振頻率(Z軸)

/

/

450Hz ±20%

350Hz ±20%

450Hz ±20%

350Hz ±20%

剛度

1.0 N/µm

θroll , θpitch(typical)

1 µrad

θyaw (typical)

3 µrad

負(fù)載(橫向)

0.5 kg

負(fù)載(橫向)

0.2 kg

材質(zhì)

鋁或殷鋼

Nano-T系列雙軸納米定位器


Nano-Max50 XY納米壓電位移平臺:

Nano-Max50 XY納米壓電位移平臺是一款重型雙軸壓電納米定位平臺,專為承載重型實驗組件而設(shè)計。Nano-Max50 XY納米壓電位移平臺的承重能力為5千克,可用于低溫光學(xué)顯微鏡低溫恒溫器的精確定位等應(yīng)用。低矮的外形和超大的孔徑使 Nano-Max50 XY納米壓電位移平臺可以集成到現(xiàn)有的光學(xué)顯微鏡中。內(nèi)部位置傳感器采用 PicoQ® 技術(shù),可在閉環(huán)控制下提供皮米級精度的、可重復(fù)位置測量。Mad City Labs的特殊 Nano-Max 系統(tǒng)的運動范圍可超過標(biāo)準(zhǔn)的50um。


主要應(yīng)用:

-精密低溫恒溫器定位

-低溫光學(xué)顯微鏡

-量子點研究


Nano-Max50 XY納米壓電位移平臺規(guī)格參數(shù)         

型號

Nano- Max50

X軸行程

50 um

Y軸行程

50 um

分辨率

0.1 nm

X軸共振頻率

1.5 kHz ±20%

Y軸共振頻率

1.0 kHz ±20%

剛度

5.0 N/µm

θroll , θpitch(typical)

1 µrad

θyaw (typical)

3 µrad

負(fù)載

5 Kg

材質(zhì)

Nano-Max50 XY納米壓電位移平臺


Nano-HS系列多軸納米定位臺:

Nano-HS 系列是一種高速、多軸、精密壓電納米定位系統(tǒng),具有皮米定位分辨率。Nano-HS 可配置為提供 XY XYZ 運動,具有的多功能性。內(nèi)部位置傳感器采用專有的 PicoQ® 技術(shù),可在閉環(huán)控制下提供、可重復(fù)的位置測量。緊湊的占地面積、超低噪聲特性和 5kHz Z 軸諧振頻率,使其非常適合要求本底噪聲小于 10 皮米和高速性能的計量應(yīng)用。


主要應(yīng)用:

-高速、高分辨率定位

-計量

-AFM

-SPM


Nano-HS系列多軸納米定位臺規(guī)格參數(shù)         

型號

Nano- HS2

Nano- HS3

X、Y軸行程

10 um

10 um

Z軸行程

/

10um

分辨率

0.01 nm

X、Y軸共振頻率

1.5 kHz ±20%

1.0 kHz ±20%

Z軸共振頻率

/

5.0 kHz ±20%

掃描速度

達(dá)300Hz

剛度

8N/µm

負(fù)載(橫向)

0.1 kg

負(fù)載(縱向)

0.1 kg

材質(zhì)

鋁、殷鋼或鈦

Nano-HS系列多軸納米定位臺



Nano-M250 兩軸壓電納米定位平臺:

Nano-M250 兩軸壓電納米定位平臺是一種結(jié)構(gòu)緊湊的雙軸壓電納米定位系統(tǒng),由鋁制成。Nano-M250 尺寸小巧,可輕松集成到納米光刻和掃描電子顯微鏡等應(yīng)用的現(xiàn)有儀器中。內(nèi)部位置傳感器采用 PicoQ® 技術(shù),可在閉環(huán)控制下提供皮米級精度的、可重復(fù)位置測量。Nano-M250 兩軸壓電納米定位平臺還提供適配高真空和超高真空兼容型號。Mad City Labs可為客戶提供定制修改,包括運動范圍。


主要應(yīng)用:

-校準(zhǔn)及對準(zhǔn)

-納米光刻技術(shù)

-掃描顯微鏡


Nano-M250 兩軸壓電納米定位平臺規(guī)格參數(shù)         

型號

Nano- M250

X軸行程

50 um

Y軸行程

50 um

分辨率

0.1 nm

X軸共振頻率

370 Hz ±20%

Y軸共振頻率

300 Hz ±20%

剛度

1.0 N/µm

θroll , θpitch(typical)

1 µrad

θyaw (typical)

3 µrad

負(fù)載(橫向)

0.5 kg

負(fù)載(縱向)

0.2 kg

材質(zhì)

Nano-M250 兩軸壓電納米定位平臺



Nano-SPM200 XY納米位移臺:

Nano-SPM200 XY納米位移臺是一種緊湊型雙軸(XY)鋁制壓電納米定位系統(tǒng)。Nano-SPM200 XY納米位移臺的緊湊設(shè)計使其非常適合集成到掃描探針顯微鏡系統(tǒng)中。內(nèi)部位置傳感器與閉環(huán) Nano-Drive 控制器相結(jié)合,可提供亞納米級的定位分辨率和長期穩(wěn)定性。每個軸的獨立撓性導(dǎo)軌運動提供了機(jī)械隔離,確保軸之間的串?dāng)_最小。樣品可安裝在頂部平面的任何位置,并通過四個螺紋安裝孔固定。Nano-SPM200 XY納米位移臺是與Mad City LabsMCL)的 MadPLL® 系統(tǒng)配合使用的理想 XY 掃描平臺。


主要應(yīng)用:

-原子力顯微鏡(AFM)、掃描探針顯微鏡(NSOM)和其他類型的掃描探針顯微鏡(SPM

-XY軸高精度對準(zhǔn)

-納米光刻技術(shù)


Nano-Max50 XY納米位移臺規(guī)格參數(shù)         

型號

Nano-SPM200

X軸行程

200 um

Y軸行程

200 um

分辨率

0.4 nm

X軸共振頻率

300Hz ±20%

Y軸共振頻率

300Hz ±20%

負(fù)載(橫向)

0.5 Kg

負(fù)載(縱向)

0.2 Kg

材質(zhì)

Nano-SPM200 XY納米位移臺



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