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深圳維爾克斯光電有限公司


DOE掩膜

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更新時(shí)間：2024-03-01 14:19:11瀏覽次數(shù)：163次

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所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

DOE掩膜，主要用于精密的控制大功率激光的孔徑，它的結(jié)構(gòu)是在玻璃基板上鍍有一層很?。▇1μm）的圖案反射涂層。

詳細(xì)介紹

DOE掩膜，可消除不需要的高衍射級(jí)次光學(xué)

 

DOE掩膜

DOE掩膜，主要用于精密的控制大功率激光的孔徑，它的結(jié)構(gòu)是在玻璃基板上鍍有一層很薄（~1μm）的圖案反射涂層。

DOE掩膜的典型參數(shù)

外直徑

5 - 100 mm

孔的形狀

圓形、方形、 多孔徑，其他

孔徑尺寸

10 um - 60 mm

波長范圍

193 - 11000 nm

Transfer Region

Small; sharp edges

SNR

~500

Shape size

>5 um

 

衍射高級(jí)次消去膜通常分為兩種不同類型的掩膜

 

一種是電介質(zhì)反射掩膜

電介質(zhì)反射掩模，英文名為Dielectric Reflective Mask，是在熔融石英的基底上，鍍一層由非常?。?1um）的反射涂層圖案。涂層部分反射入射光束，而未涂層部分透射光束。

 

電介質(zhì)反射掩膜的特性：

針對單波長設(shè)計(jì)，高損傷閾值，低吸收率

反射部分，> 99％的高反射率

透明部分，> 95％的高透射率

很薄的掩膜層(~1um)

 

另一種是透射成像掩模

透射成像掩膜，英文名為Transmissive Imaging Mask，透射式掩模的特點(diǎn)是透射全部入射光，沒有任何阻擋，透射掩模使用衍射圖案以大角度漫射不需要的波段。

它的工作原理如下：

       中心有一個(gè)和反射式掩膜類似的透明區(qū)域，光線直接透過，周圍區(qū)域具有衍射圖案，使不需要的入射光以大角度出射。配合聚焦鏡后焦平面放置的小孔，就可以阻擋大部分漫射光，從而達(dá)到阻擋多余激光的效果。

 

透射掩膜的特點(diǎn)：

不會(huì)有反射光的風(fēng)險(xiǎn)，導(dǎo)致?lián)p壞光學(xué)系統(tǒng)

~100％傳輸效率

比反射式掩模更高的激光損傷閾值

價(jià)格實(shí)惠

 

DOE掩膜的應(yīng)用領(lǐng)域：

縮減傳輸區(qū)域，設(shè)置一個(gè)很小的傳輸區(qū)域

控制激光衍射圖案的大小

 

DOE掩膜的型號(hào)規(guī)格：

型號(hào)

直徑 (mm)

孔徑尺寸(um)

孔徑形狀

材質(zhì)

DM-017

85

50075

Square

熔融石英

DM-010

25.4

5680

Round

熔融石英

DM-004

25.4

1750

Square

熔融石英

DM-009

25.4

6200

Round

熔融石英

DM-019

25.4

300

Square

熔融石英

DM-007

25.4

10838

Round

熔融石英

DM-006

25.4

7000

Square

熔融石英

DM-005

25.4

3500

Square

熔融石英

DM-008

20

8428

Round

熔融石英

DM-016

11

5400

Round

熔融石英

DM-015

11

3000

Round

熔融石英

DM-014

11

4214.9

Round

熔融石英

DM-013

11

2408

Round

熔融石英

DM-012

11

3612

Round

熔融石英

DM-011

11

4817

Round

熔融石英

DM-003

11

165

Square

熔融石英

DM-002

11

65

Square

熔融石英


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