EK-MR，MTM-MR及MT-MR系列搭載SCD數(shù)字讀取單元，方便用戶讀取記錄數(shù)據(jù)。德國(guó)Marzhauser Wetzlar為用戶提供手動(dòng)測(cè)量載物臺(tái)，適用于透射光/反射光應(yīng)用及硬度測(cè)試，其中MT系列搭載千分尺，多種行程供用戶選擇，允許用戶通過裝配適配器及樣品架搭載晶圓進(jìn)行測(cè)試。

詳細(xì)介紹

EK系列，應(yīng)用于反射/透射光應(yīng)用的手動(dòng)測(cè)量載物臺(tái)

德國(guó)Marzhauser Wetzlar 為用戶提供不同規(guī)格的手動(dòng)測(cè)量載物臺(tái)供用戶選擇，其中MT系列平臺(tái)，普遍在透射光應(yīng)用，反射光應(yīng)用還有硬度測(cè)試上，規(guī)格包括25 x 25 mm (1" x 1")和50 x 50 mm (2" x 2")兩種行程，底板上有四個(gè)孔位（M5，90 × 90 mm），其他孔樣式或特殊適配器可根據(jù)具體要求提供，可集成在不同顯微鏡上，的千分尺設(shè)計(jì)，為用戶實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確測(cè)量提供了基礎(chǔ)。

EK-MR系列僅包含EK 75 ×50 MR一種規(guī)格，該系列時(shí)MTM-MR系列測(cè)量階段的有利替代方案，測(cè)量長(zhǎng)度可達(dá)值，該平臺(tái)搭載德國(guó)Marzhauser Wetzlar所開發(fā)的磁流變測(cè)量系統(tǒng)，以此確保高精度測(cè)量，在連接SCD顯示裝置后可實(shí)時(shí)讀取位置信息。MT-MR系列測(cè)量平臺(tái)無固定搭配顯微鏡型號(hào)，可用于透射光/反射光應(yīng)用，作為綜合測(cè)量系統(tǒng)為用戶提供選擇，該系統(tǒng)允許搭載SCD數(shù)字讀取單元。

MTM系列特別適用于正置顯微鏡，當(dāng)測(cè)量長(zhǎng)度大于100 mm時(shí)，可使用具有的調(diào)節(jié)旋鈕進(jìn)行粗調(diào)或精調(diào)操作，用時(shí)可以搭配SCD同時(shí)使用，用戶可以在SCD顯示屏上讀取位置數(shù)據(jù)，該系列行程范圍包括105 × 105 mm至300 × 300 mm多種選擇，其中MTM 105 x 105 MR適用于大部分顯微鏡型號(hào)，包括Leica、Zeiss、Nikon、Olympus品牌，而大行程規(guī)格多適用于Olympus立式顯微鏡。

EK-MR系列手動(dòng)測(cè)量載物臺(tái)（可配置SCD）

描述	EK 75 × 50 MR
訂購(gòu)型號(hào)	00-22-321-0000
行程范圍	75 × 50 mm
準(zhǔn)確性	±5 μm
分辨率	＜ 0.05 μm
驅(qū)動(dòng)	X軸：繩索驅(qū)動(dòng) Y軸：齒條–小齒輪
重量	1.7 kg

適用顯微鏡型號(hào)：

Leica	Nikon	Olympus	Zeiss
DM1000	Diaphot 200 / 300	BX40	Axio Imager
DM2000	E800	BX41	Axio Scope.A1
DM2500	Eclipse 50i	BX41M	Axiophot 1
DM2500 M	Eclipse 55i	BX50	Axioplan
DM2500 P	Eclipse 80i	BX51	Axioplan 2
DMLA	Eclipse E200	BX51M	Axioskop
DMLB	Eclipse E400	BX60	Axioskop 2 MAT
DMLM	Eclipse E600	BX61	Axioskop 2 MOT
DMLS	Eclipse LV100D/LV100DA	BX61 M	Axioskop 20
DMR...	Eclipse LV150, LV150A		Axioskop 40
DMRB	ME600		Axiotech 100
DM4 B			Axiotech vario
DM4 M			Axiotron
DM4 P			Axiotron 2
DM6 M
DM6 B

MTM-MR系列手動(dòng)測(cè)量載物臺(tái)（可配置SCD）

描述	MTM 105 × 105 MR
訂購(gòu)型號(hào)	00-31-416-0000
行程范圍	反射光：105 × 105 mm 透射光：105 × 85 mm
準(zhǔn)確性	±1 μm
分辨率	0.05 μm
驅(qū)動(dòng)	齒條–小齒輪
載重	2.5 kg
重量	~ 4.0 kg

適用顯微鏡型號(hào)：

Leica	Nikon	Olympus	Zeiss
DM1000	Diaphot 200 / 300	BX40	Axio Imager
DM2000	E800	BX41	Axioplan
DM2500	Eclipse 50i	BX41M	Axioplan 2
DM2500 M	Eclipse 55i	BX50	Axioskop
DM2500 P	Eclipse 80i	BX51	Axioskop 2 MAT
DMLA	Eclipse E200	BX51M	Axioskop 2 MOT
DMLB	Eclipse E400	BX60	Axioskop 20
DMLM	Eclipse E600	BX61	Axioskop 40
DMLS	Eclipse LV100D/LV100DA	BX61 M	Axiotech 100
DMR...	Eclipse LV150, LV150A	SZX10	Stemi 2000 / 2000C
DMRB	SMZ1000	SZX12
DM4 B	SMZ1500	SZX16
DM4 M	SMZ800	SZX7
DM4 P		SZX9
DM6 M
DM6 B
MS5
MZ12.5
MZ16/MZ16A
MZ7.5
MZ9.5

MTM-MR系列手動(dòng)測(cè)量載物臺(tái)（可配置SCD）

描述	MTM 150 × 150 MR
訂購(gòu)型號(hào)	00-31-607-0000	31-31-607-0000
行程范圍	150 × 150 mm (6" × 6")	150 × 150 mm (6" × 6")
準(zhǔn)確性	±1 μm	±1 μm
分辨率	0.05 μm	0.05 μm
驅(qū)動(dòng)	同軸驅(qū)動(dòng)，齒條–小齒輪	同軸驅(qū)動(dòng)，齒條–小齒輪
載重	3.0 kg	3.0 kg
重量	4.8 kg	4.8 kg
適用顯微鏡型號(hào)	Olympus MX40 Olympus MX50 Olympus MX50L Olympus MX51 Olympus MX51L Olympus MX61 Olympus MX61L	Leica DM4000 M Leica DM6000 M

MTM-MR系列手動(dòng)測(cè)量載物臺(tái)（可配置SCD）

描述	MTM 200 x 200 MR
訂購(gòu)型號(hào)	00-31-807-0000
行程范圍	200 × 200 mm (8" × 8")
準(zhǔn)確性	±1 μm
分辨率	0.05 μm
驅(qū)動(dòng)	同軸驅(qū)動(dòng)，齒條–小齒輪
載重	3.0 kg
重量	7.8 kg
適用顯微鏡型號(hào)	Olympus MX50 Olympus MX50L Olympus MX51L Olympus MX61 Olympus MX61L Olympus MX80

MTM-MR系列手動(dòng)測(cè)量載物臺(tái)（可配置SCD）

描述	MTM 200 x 200 MR
訂購(gòu)型號(hào)	00-31-012-0000
行程范圍	300 × 300 mm (12“ × 12“)
準(zhǔn)確性	±5 μm
分辨率	0.05 μm
驅(qū)動(dòng)	同軸驅(qū)動(dòng)，齒條–小齒輪
載重	5.0 kg
重量	18.6 kg
適用顯微鏡型號(hào)	Olympus MX50L Olympus MX51L Olympus MX61L Olympus MX80

MT-MR系列手動(dòng)測(cè)量平臺(tái)（可配置SCD）

描述	MT 200 x 100 MR
訂購(gòu)型號(hào)	00-31-104-0000
測(cè)量范圍	200 x 100 mm
準(zhǔn)確性	± 1 μm
分辨率	0.1 μm
驅(qū)動(dòng)	手動(dòng)調(diào)節(jié)
載重	5 kg
重量	11.8 kg

MT系列手動(dòng)測(cè)量載物臺(tái)（千分尺）

描述	MT 25 x 25
訂購(gòu)型號(hào)	00-30-101-0000 00-30-221-0000	00-30-223-0000
測(cè)量范圍	25 x 25 mm (1" x 1")	25 x 25 mm (1" x 1")
分辨率	由千分尺決定	由千分尺決定
千分尺安裝座	?12 mm（其他?要求）	?12 mm（其他?要求）
重量	1.25 kg	1.25 kg
承重	10 kg	50kg

適用顯微鏡型號(hào)：

Leica	Nikon	Olympus	Zeiss
MS5	SMZ1000	SZX10	Stemi 2000 / 2000C
MZ12.5	SMZ1500	SZX12
MZ16/MZ16A	SMZ800	SZX16
MZ7.5		SZX7
MZ9.5		SZX9

MT系列手動(dòng)測(cè)量載物臺(tái) （千分尺）

描述	MT 50 x 50
訂購(gòu)型號(hào)	00-30-102-0000 00-30-222-0000	00-30-224-0000
測(cè)量范圍	50 x 50 mm (2" x 2")	50 x 50 mm (2" x 2")
分辨率	由千分尺決定	由千分尺決定
千分尺安裝座	?12 mm（其他?要求）	?12 mm（其他?要求）
重量	1.25 kg	1.25 kg
承重	10 kg	50kg

適用顯微鏡型號(hào)：

Leica	Nikon	Olympus	Zeiss
MS5	SMZ1000	SZX10	Stemi 2000 / 2000C
MZ12.5	SMZ1500	SZX12
MZ16/MZ16A	SMZ800	SZX16
MZ7.5		SZX7
MZ9.5		SZX9

千分尺規(guī)格

范圍	滾輪直徑	分辨率	訂購(gòu)型號(hào)
25 mm (analog)	20mm	10μm	00-30-000-6801
25 mm (analog)	30 mm	5 μm	00-30-000-6802
50 mm (analog)	20 mm	10 μm	00-30-000-6804
50 mm (analog)	30 mm	5 μm	00-30-000-6805
25 mm (digital)		1 μm	00-30-000-6811
50 mm (digital)		1 μm	00-99-900-1898* *mounting shaft: 18 mm

MT-MR系列手動(dòng)測(cè)量載物臺(tái)（可配置SCD）

描述	MT 50 x 50 MR
訂購(gòu)型號(hào)	00-30-119-0000
測(cè)量范圍	50 x 50 mm (2" x 2")
準(zhǔn)確性	（測(cè)量長(zhǎng)度/40+2.5）μm
分辨率	0.05 μm
驅(qū)動(dòng)	手動(dòng)調(diào)節(jié)
載重	1.4 kg
重量	5 kg